판매용 중고 GENMARK 990010661 #189536

GENMARK 990010661 (GENMARK 990010661) 은 고급 웨이퍼 핸들러로, 반도체 애플리케이션의 생산성과 정확성을 향상시키도록 설계된 광범위한 자동화 솔루션을 제공합니다. 고급 로봇 공학과 정밀 정렬 기술을 통해 직경 8 인치, 두께 190 미크론의 안정적이고 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다. 이 장치는 분당 최대 50 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 최대 1 웨이퍼 로드 용량은 4kg입니다. 이 핸들러에는 완전하게 동기화 된 작업을 위해 2 개의 독립적 인 셔틀 (shuttle) 이 포함되어 있으며, 이 셔틀은 병렬 또는 스테이징 로딩 및 웨이퍼 언로드에 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 운송 시스템 (Conveyance System) 이 장착되어 있어 셔틀과 로드 포트 사이에서 웨이퍼를 정확하게 이동합니다. 이 플랫폼은 정확한 웨이퍼 정렬을 통해 높은 처리량과 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. 다이 투 다이 및 랜덤 탱크 처리 기술을 모두 지원합니다. 990010661은 웨이퍼 처리 기능에서 비교할 수없는 정밀도와 정확성을 제공합니다. 최적의 동작 지점에 위치한 7 축 로봇 암을 통합하여 최적의 정확성을 제공합니다. 웨이퍼 핸들러는 특허를받은 고정밀 로봇 비전 (robotic vision) 시스템을 사용하여 0.5 미크론 이체 플레이트에 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 온보드 비전 시스템을 사용하면 다이 픽업 (die pick-up) 전에 정확성과 결함 탐지를 확인할 수 있습니다. 이 장치는 또한 광범위한 웨이퍼 처리 어플리케이션에 맞게 설계된 통합 엔드 이펙터 헤드 (end-effector head) 를 갖추고 있습니다. 상단 및 하단 다이로 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 최종 이펙터 헤드는 분리 된 도량형을 활용하여 정확한 다이 정렬 및 픽업을 보장합니다. 최종 이펙터 헤드의 동작 범위는 0 ° ~ 360 ° 범위의 모든 다이 각도에 대해 부드럽게 회전하도록 최적화되었습니다. GENMARK 990010661 웨이퍼 핸들러는 생산성과 정확성의 강국입니다. 고급 자동화 (Advanced Automation) 기능을 통해 반도체 생산 애플리케이션의 처리량을 높이고 생산량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 최적화된 모션 범위, 정밀 로봇 비전 시스템 (precision robotic vision system) 및 통합 도량형을 활용하여 반도체 생산 라인을 위해 안정적이고 정확한 웨이퍼 핸들러입니다.