판매용 중고 GENMARK 9800109111 #9171113

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ID: 9171113
빈티지: 2005
Robot controller P/N:9800109111 2005 vintage.
GENMARK 9800109111 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 여러 단계 기능과 수직으로 통합 된 수송 설계를 갖춘 자동 웨이퍼 수송 장비입니다. 반도체, MEMS 및 기타 마이크로 제작 (micro-fabrication) 산업에서 사용하도록 설계되었으며, 특히 더 작은 운영 볼륨에 적합합니다. 980010911에는 이중 축 X-Y 로봇과 단일 축 Z 축 단계, 고급 안전 및 보안 기능이 장착되어 있습니다. 통합된 X-Y 로봇을 사용하면 최소 설치 공간으로 빠르고 정확한 이동이 가능하며, Z축 (Z축) 단계를 통해 웨이퍼 무결성을 손상시키지 않고 수직 이동이 가능합니다. 또한, "로봇 '암 과 통합 단계 는 운동 중 의 진동 을 최소화 하도록 설계 되었다. 향상된 속도와 정확한 포지셔닝 외에도 GENMARK 980010911은 업계 최고의 보안 기능을 갖추고 있습니다 (영문). 여기에는 자동 시스템 종료, 보안 웨이퍼 처리, 고급 데이터 암호화 기술 등이 포함됩니다. 보안 통신 프로토콜 및 인증 절차도 장치에 포함됩니다. 로봇 암 (robot arm) 과 통합 스테이지 (integrated stage) 는 완전한 이중화 (redundancy) 와 빠른 수리를 염두에 두고 설계되었기 때문에 이 기계는 다운타임을 줄이고 생산 품질을 유지하도록 설계되었습니다. 또한 980010911에는 웨이퍼 온도, 습도 및 기타 환경 판독값을 모니터링하는 내장 센서 스위트가 있습니다. 요약하자면, GENMARK 9800109111 웨이퍼 핸들러는 다양한 위치 옵션, 고급 보안 및 이중화 기능, 환경 및 생산 품질 모니터링을 위한 센서 (sensor) 를 통해 웨이퍼 전송 및 포지셔닝을 위한 자동화된 도구를 제공합니다. 고급 설계를 통해, 이 견고하고 신뢰성 높은 웨이퍼 처리 (wafer handling) 자산은 소규모 운영 볼륨을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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