판매용 중고 GENMARK 980010661A1 #9179895

GENMARK 980010661A1 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 반도체 및 관련 업계에서 사용되는 직경이 최대 300mm 인 대형 웨이퍼의 재료 운송 및 처리를 위해 유연하고 효율적인 자동 장비입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 리소그래피, 에치 (etch), 증착 (deposition) 등 다양한 프런트엔드 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계되었습니다. 980010661A1 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 반도체 산업의 생산 효율성을 높이고 인건비를 줄이기 위해 설계되었습니다. 웨이퍼 처리기 (wafer handler) 는 재료 처리 작업을 수행하기 위해 다양한 프로세스와 통합 할 수 있습니다. 특정 운영 단계 및 개별 응용 프로그램에 맞게 사용자 지정 및 프로그래밍 할 수 있습니다. GENMARK 980010661A1 () 은 웨이퍼 엣지에 유체적으로 밀봉 된 안전한 그립을 제공하여 연약한 웨이퍼에 거의 0의 웨이퍼 손상으로 정확한 픽앤 플레이스 (pick-and-place) 작동을 가능하게합니다. 980010661A1 웨이퍼 핸들러는 내장된 재료 저장 및 전송 기능으로 정확도, 속도, 효율성을 향상시키도록 설계되었습니다. 여러 유형의 재료를 실행할 수 있으며, 직경이 최대 300mm 인 대형 웨이퍼 (Wafer Thickness Range) 를 75 미터에서 200 미터 사이의 웨이퍼 두께로 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 정밀 모터를 사용하며, 프로세스 전후 (before and after process) 에 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 로 프로그래밍되어 빠른 프로그래밍 및 진단을 지원합니다. 강력하고 효율적인 작동을 제공하는 브러시리스 (brushless) DC 모터로 구동됩니다. "모우터 '는 정밀 하고 반복 할 수 있는 성능 을 가능 하게 하는, 통합 폐쇄 루프 시스템 에 의해 제어 된다. 또한 wafer 처리기는 안전하고 안전한 wafer 전달을 위해 이중 채널 통신을 제공합니다. 또한 GENMARK 980010661A1 웨이퍼 핸들러에는 풀 타임 CPU 모니터링 시스템도 포함되어 있어 안정적인 작동과 향상된 가동 시간을 제공합니다. 또한 안전 시스템이 내장되어 있어, 취급 과정에서 발생하는 부주의한 충돌과 피해를 방지할 수 있습니다 (영문). 높은 정확성과 성능 덕분에, 웨이퍼 핸들러는 하이엔드 반도체 생산에 적합합니다.