판매용 중고 GENMARK 701100027 #9153814

GENMARK 701100027
ID: 9153814
Robot.
GENMARK 701100027은 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 외부 길이는 1300mm, 너비는 600mm, 높이는 1600mm입니다. 적절한 작동 온도는 0-40 ° C입니다. 16 개의 디스크 스테이지가 있으며 각 스테이지에는 최대 20 개의 웨이퍼가 포함될 수 있습니다. 최대 8 인치의 웨이퍼 (wafer) 크기를 제공하며 둥근 웨이퍼 처리 및 라운드, 홀수 및 사용자 정의 모양의 웨이퍼 처리에 대한 최적의 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 701100027은 정밀하고 반복 가능한 모션 제어를 위해 아트 모션 컨트롤 (Art Motion Control) 장비의 고급 상태를 통합합니다. 동작 중 흔들림 또는 진동 (wobble or vbration) 과 5축의 동작 (motion) 이 없도록 설계되었습니다. E719 시리즈 모션 컨트롤러는 시스템의 두뇌로, 3.3GHz에서 초고속, 실시간 명령 실행을 제공합니다. 또한 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 간단한 창, 점 및 클릭 인터페이스가 있는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스가 있습니다. 사전 로드 (pre-load) 기능을 사용하면 장치가 시작 구성을 리콜하여 각 주기와 동일한 시작 조건을 제공할 수 있습니다. 또한, Laser Vision Machine은 카메라, 인코더 및 레이저 스캐너를 사용하여 정확한 웨이퍼 정렬 및 트랙 웨이퍼 배치 및 제거를 제공합니다. 전체 작업은 완벽한 추적 가능성 (Traceability) 을 위한 전송 (Transport) 의 시각적 매핑을 포함하여 고해상도 비디오 도구로 모니터링됩니다. GENMARK 701100027은 또한 여러 보호 커버, 연동 액세스 및 긴급 정지 버튼을 포함한 여러 안전 기능을 제공합니다. 연동 된 액세스는 비 필수 인원과 외국 물건이 활성 경비대 (Active Guard) 지역으로 들어가는 것을 방지합니다. 비상 정지 단추가 필요할 때 전체 전원 재설정을 수행합니다. 전반적으로, 701100027은 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 처리를 제공하도록 설계된 고효율 웨이퍼 핸들러입니다. 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (graphical interface) 와 강력한 모션 컨트롤 (motion control) 자산을 통해 쉽게 사용할 수 있으며, 안전 기능은 작동이 안전하고 안전하다는 추가 보증을 제공합니다. 따라서, 그것은 모든 반도체 처리 응용 분야에 적합한 선택 일 것입니다.
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