판매용 중고 FORTREND F 6225QS #9265359

FORTREND F 6225QS
ID: 9265359
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1997
Wafer transfer system, 6" 1997 vintage.
FORTREND F 6225QS는 반도체 제조 공장에서 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 웨이퍼 핸들러는 반자동 FEL (Front End Loader) 에 장착되도록 설계되어 있어 웨이퍼 카세트의 효율적이고 정확한 로드 및 언로드가 가능합니다. 펠 (FEL) 은 수직 전송 프로세스를 특징으로하며, 이는 웨이퍼와 처리 기기 사이의 교차 오염 가능성을 최소화합니다. 핸들러에는 최대 12 인치 웨이퍼를 수용 할 수있는 듀얼 레인 트레이가 있으며, 각 레인에 12 개의 스테이션 용량이 있습니다. 또한 진동 센서가 장착 된 EMS (Environmental Monitoring Equipment) 를 사용하여 기계적 충격, 온도 충격 또는 진동으로부터 웨이퍼를 모니터링하고 보호합니다. F 6225QS에는 카세트 삽입 및 제거를위한 자체 유도 스마트 자동 리프터 암이 장착되어 있습니다. 이 기능은 안전하고, 안정적이며, 반복 가능한 웨이퍼 카세트 로드 및 언로드를 보장합니다. 팔 은 "웨이퍼 '" 카세트' 의 존재 여부 를 자동 탐지 할 수 있으며, 그 에 따라 수술 을 조정 할 수 있다. 이 핸들러에는 웨이퍼 인식 및 정렬을위한 통합 비전 시스템 (vision system) 과 효율적인 워크플로우를위한 자동 카세트 재배열 장치 (cassette re-arrangement unit) 도 있습니다. FORTREND F 6225QS는 또한 웨이퍼 처리를 위한 안전한 환경을 제공합니다. 조명 된 청소실은 오염 방지를 위해 내장 자외선 (UV) 소독기를 사용합니다. 이 핸들러는 또한 전기적 방전 및 저항성 문제를 보호하기 위해 반 정적 플레이트 (Anti-Static Plate) 및 접지 시스템을 구현합니다. 인력과 장비의 안전성을 보장하기 위해 "사격방지 (Fire Protection) '툴도 내장되어 있다. F 6225QS는 가혹하고 다양한 환경 조건에서 작동 할 수 있습니다. 온도 범위는 4 ~ 50 ° C, 습도는 25 ~ 80% 로 복잡하고 까다로운 생산 환경에서 이상적인 선택입니다. 또한, 핸들러는 SEMI 안전 표준을 충족하도록 설계되었으며, 출하 전에 광범위한 안전 테스트 (Safety Testing) 및 성능 검사를 거쳤습니다. 전반적으로 FORTREND F 6225QS는 반도체 제조 공장을 위해 설계된 효과적이고, 안정적이며, 안전한 웨이퍼 핸들러입니다. 통합 기능 및 디자인은 효율적인 카세트 로딩 및 언로드, 향상된 성능, 최대한의 안전성을 제공합니다. 핸들러는 제조 플랜트에 이상적인 선택으로, 워크플로우 (workflow) 를 향상시키고 운영 프로세스를 효율적으로 수행할 수 있습니다.
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