판매용 중고 FORTREND E-8025S BB #9357141

FORTREND E-8025S BB는 고속 응용 프로그램에서 반도체 웨이퍼의 자동 전송을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 최대 12 인치 웨이퍼 크기를 지원하고 통합 듀얼 암 솔리드 프레임 구조를 갖춘 사전 정렬 웨이퍼 핸들러 (pre-alignment wafer handler) 입니다. 이 시스템에는 통합 폐쇄 루프 스캔 및 데이터 획득 장비가 포함되어 있습니다. 시스템 베이스에 마운트된 컨트롤러는 이중 채널 통신 시스템 (이중 채널 통신 시스템) 을 사용하여 송신 (outgoing) 데이터 흐름과 수신 (incoming) 데이터 흐름을 모두 가능하게 합니다. 포지셔닝 드라이브 장치는 부드럽고 정확한 웨이퍼 동작을 위한 정밀 동작 제어 (precision motion control) 를 지원하도록 설계되었습니다. E-8025S BB는 다양한 웨이퍼 전송 기능을 제공합니다. 사전 정렬 머신 (pre-alignment machine) 이 특징이며, 웨이퍼는 정확하고 효과적인 처리를 위해 정확하게 정렬됩니다. 이 도구는 향상된 프로세스 안정성 및 웨이퍼 보호를 위해 전기-기계 웨이퍼 (electro-mechanical wafer) 지원 설계와 함께 제공됩니다. 이 기계는 또한 최대 12 인치 웨이퍼 크기를 처리 할 수있는 대형 웨이퍼를 지원합니다. 이 기계는 또한 인체 공학적 Rack Placing Asset을 통해 빠른 웨이퍼 교환을 허용합니다. FORTREND E-8025S BB는 많은 사용량을 견딜 수 있도록 설계되었으며 고성능 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 로봇 기계식 암 (robotic mechanical arm) 은 모든 온도에서 고속 작동을 지원하면서 낮은 진동 수준을 보장하도록 설계되었습니다. 프로그래밍 가능한 서보 제어 드라이브 (Servo Control Drive) 모델을 사용하면 정확한 웨이퍼 전송을 위해 완전한 모션 제어가 가능하므로, 시스템이 여러 프로세스를 병렬로 실행할 수 있습니다. 이 기계는 화학/드라이 에치 (dry etch) 및 리소그래피 프로세스를 포함한 광범위한 프로세스 호환성을 위해 설계되었습니다. 완벽한 프로그래밍 가능한 모션 설정을 제공하여 사용자가 최적의 웨이퍼 성능을 위해 웨이퍼 (wafer) 전송 비율, 웨이퍼 처리 속도, 서보 (servo) 매개변수를 조정할 수 있습니다. 기계의 통합 센서는 전송 중 웨이퍼가 지정된 공차 내에 유지되도록 도와줍니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 사용자 프로세스 요구 사항에 맞게 시스템을 신속하게 설치, 조정할 수 있습니다. E-8025S BB는 안정성이 뛰어나고 안전합니다. 부드럽고 정확한 동작 제어로 오염과 웨이퍼 (wafer) 손상을 방지하도록 설계되었습니다. 이 기계는 브러시리스 (brushless) 모터 설계 및 통합 열 관리 장비로 저소음, 진동 및 전력 소비를 제공합니다. 복구 시간 내내 안정적으로 작동하고, 유지 관리하기 쉽습니다.