판매용 중고 FORTREND 159-020022-001 #9390217

FORTREND 159-020022-001은 직경이 최대 8 인치 (200mm) 인 평평하고 얇은 웨이퍼의 전송 및 위치를 자동화하는 데 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 웨이퍼 클리닝, 테스트, 정렬 등 반도체 프로세싱의 프런트엔드 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. 159-020022-001 웨이퍼 핸들러에는 로봇 진공 웨이퍼 핸들러 (RVWH), 수직 전송 시스템 (VTS) 및 웨이퍼 전송 척 (WTC) 이 있습니다. RVWH 는 "웨이퍼 '를 집어 올려 환승" 스테이션' 에서 처리 "스테이션 '으로 신속 하게 옮기도록 설계 되었다. VTS는 와퍼의 고정밀 수직 이동을 위해 설계되었으며, 웨이퍼 포지셔닝을 세밀하게 제어합니다. WTC는 전송 중 웨이퍼를 단단히 잡아서 직경 200mm (8 인치) 의 웨이퍼 (wafer) 에 보안 그립을 허용하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 정확한 웨이퍼 배치를위한 진공 센서와 파퍼 (wafer) 의 가장자리를 손상시키지 않고 잡기 위한 에지 클램프가 장착되어 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러에는 웨이퍼 운송 중 유출 및 오염을 방지하기 위해 오염 방지 (anti-contamination) 옵션이 제공됩니다. 또한 모든 웨이퍼에 대해 깨끗한 벽과 깨끗한 패스를 보장하는 진동 플라즈마 프리 클린 (pre-clean) 기능이 있습니다. FORTREND 159-020022-001 웨이퍼 핸들러에는 정확도, 경제 및 효율성을 극대화하기 위해 개별적으로 조정 가능한 모듈 식 진공 시스템이 제공됩니다. 빠르고 효율적인 처리를 위해 사이클 당 최대 200 개의 웨이퍼를 지원합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 컴팩트하고 쉽게 설치할 수 있도록 설계되었으며 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 배치 프로세스와 인라인 프로세스 모두에서 작동 할 수 있습니다. 159-020022-001 웨이퍼 핸들러는 고정밀 웨이퍼 처리 및 전송 기능을 제공합니다. "와퍼 (wafer) '처리 및 전송을 자동화하는 안정적이고 효율적인 도구이며, 클리닝 (cleaning) 에서부터 테스트 (testing) 및 정렬 (sorting) 까지 다양한 프로세스에 적합합니다.