판매용 중고 FLUOROWARE 1032-008 #9048482
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3-way valve.
FLUOROWARE 1032-008 (FLUOROWARE 1032-008) 은 반도체 제작에서 재료 처리 응용 분야를 위해 설계된 고급 아트 웨이퍼 핸들러입니다. 웨이퍼 핸들러는 최대 웨이퍼 무게 12 온스로 최대 8 인치까지 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. "와퍼 '가 처리 되는 방법 에 있어서 그 독특 한 설계 는 극히 융통성 이 있으며, 이중 암 수동 방향" 시스템', 진공 평면 리프트, 심지어 전기 수송 "시스템 '에 의한 자동 적재 혹은 하역 가능성 등 여러 가지 선택적" 액세서리' 가 있다. 또한, 웨이퍼 핸들러는 리소그래피 도구, 플라즈마 에칭 시스템 (plasma etching system) 과 같은 다양한 다른 웨이퍼 가능 기기와의 호환성을 위해 설계되었습니다. 1032-008은 또한 낮은 오염 감수성과 청소 실 호환 본체를 가지고 있습니다. FLUOROWARE 1032-008은 전기 모터 (electric motor) 에 의해 구동되며 4 방향 이동을 사용하여 웨이퍼를 원하는 위치에 정확하게 배치합니다. 움직임은 2 개의 서보 제어 로봇 암을 통해 제어되며, 진공 베이스 플레이트 및 베이스 리프트와 관련하여 1, 2 또는 3 차원 위치에서 움직일 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러는 수동으로 또는 자동 방식으로 실행할 수 있습니다. 웨이퍼를 처리 할 때 1032-008은 최소 사람의 입력이 필요한 작업을 사용합니다. 기본적으로, 웨이퍼 핸들러는 특허를 획득한 포지션 피드백 (position feedback) 기술을 사용하여, 모든 후속 웨이퍼 처리 작업에 대해 명시된 정확한 포지션 요구 사항을 일관되게 충족할 수 있습니다. FLUOROWARE 1032-008은 모든 수준의 사용자에게 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하면 시스템 설정과 작동이 쉬워집니다. 또한, 1032-008 은 내부 진단 도구를 통해 사용자가 발생하는 모든 오류 또는 문제를 쉽게 진단할 수 있습니다. 전체적으로 FLUOROWARE 1032-008은 안정적이고, 안전하며, 정확한 성능을 제공하는 고급 첨단 기술 웨이퍼 핸들러입니다. 인간이 최소화한 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 소재 (material) 로 작업할 수 있고, 다른 웨이퍼 (wafer) 관련 기기와의 호환성을 통해 반도체 업계의 다양한 응용프로그램에서 사용할 수 있다.
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