판매용 중고 FANUC S900W #9083603

FANUC S900W 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 효율적이고 비용 효율적인 방식으로 모든 크기의 웨이퍼를 처리하도록 설계된 모듈식 장비입니다. 프로세스간에 매우 얇은 웨이퍼를 손상시키지 않고 전송하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 로봇 암 (robot arm) 을 사용하여 핸들러의 수송 판에 웨이퍼를 선택, 배치 및 정위합니다. 수송 판에는 2 방향 이동과 XY 4 축 이동의 두 가지 수송 메커니즘이 있습니다. 두 방향 메커니즘을 사용하여 각도가 0 ~ 360도 (중첩 범위 180도) 인 모든 방향으로 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 4 축 메커니즘은 웨이퍼를 수송 판에 대한 정확한 위치 정렬에 사용됩니다. 또한 웨이퍼와 로봇 사이의 인터페이스 역할을합니다. S900W에는 로봇 암의 움직임을 제어하는 타이머 (timer) 가 내장 된 마이크로 프로세서가 내장되어 있습니다. 또한 로봇 팔의 움직임을 모니터링하는 FANUC 기술이 특징입니다. 이 핸들러는 다양한 사용자 친화적 설정을 사용하여 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 스캐너 (wafer scanner) 가 내장된 자동 웨이퍼 이동을 통해 웨이퍼가 정확하게 배치됩니다. 또한 "파아퍼 '가 손상 되는 것 을 방지 하고 입자 의 존재 를 감지 하는 오염 탐지 장치 도 포함 된다. FANUC S900W Wafer Handler는 모듈 식 설계를 통해 확장 및 사용자 정의를 허용합니다. 다른 시스템 및 운영 시스템에 대한 자동 인터페이스를 갖추고 있습니다. 직렬 포트, 이더넷 또는 RS485를 통한 통신을 지원합니다. S900W 는 다른 운영 시스템에 연결할 수 있으며, 운영 워크플로를 설계할 때 다양한 옵션을 제공합니다. FANUC S900W는 까다로운 프로세스에서 초슬림형 웨이퍼를 처리하는 기업에 적합한 선택입니다. 자동화, 고급 기능, 사용자 정의 옵션, 정확성으로 인해 웨이퍼 처리에 이상적인 솔루션이 됩니다. 이 기계의 모듈식 설계 (Modular Design) 는 또한 운영 프로세스에 기계를 빠르게 확장 또는 추가해야 하는 기업을 위한 매력적인 솔루션입니다. 사용자 친화적인 설치/인터페이스 기능을 갖춘 S900W 는 모든 기업에서 Wafer 를 처리할 수 있는 안정적이고 경제적인 솔루션입니다.