판매용 중고 FANUC S-420 iF #9000725

FANUC S-420 iF는 FANUC Robotics에서 설계 및 제조 한 최첨단 초소형 웨이퍼 처리 장비입니다. 그것 은 "클리닝 '실 환경 에서 얇은" 웨이퍼' 를 처리 하기 위한 완전 한 장치 이며, 그 "센서 '는 혁신적 이다. 이 시스템은 하나의 유닛에서 5 mm ~ 10 mm 두께의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 청소실 웨이퍼 처리 프로세스 (cleanroom wafer handling process) 를 보다 효율적으로 만들 수있는 고급 기능 어레이가 장착되어 있습니다. 우선, S-420 iF는 인체 공학적 카세트와 웨이퍼 회전 목마의 웨이퍼를 적재 및 언로드하기 위해 최대 3 초의 빠른 속도로 제작되었습니다. 또한 높은 정밀도로 웨이퍼를 식별하는 고급 비전 유닛이 있습니다. 이 기계는 또한 웨이퍼의 위치를 최적화하고 결함을 방지하기 위해 스마트 다이빙 (smart dicing) 모드를 갖추고 있습니다. FANUC S-420 (또한 웨이퍼 방향을 모니터링하는 통합 웨이퍼 정렬 센서가 있는 경우) 또한이 장치는 쉽고 빠른 설정을 위해 Easy Programming PRO로 프로그래밍 할 수 있습니다. S-420 iF에는 청소실 안전을 향상시키기 위해 몇 가지 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이 "센서 '는" 웨이퍼' 의 방향 이 올바르지 않고 장치 의 작동 을 자동 으로 중지 할 때 탐지 할 수 있다. 즉, 잠긴 실행 기능을 통해 제대로 실행되지 않는 자동 작업을 방지할 수 있습니다. 또한, 정전기 방전 (electrostatic discharge) 의 축적을 방지하고 웨이퍼에 대한 정전기 손상의 위험을 줄이기 위해 정전기 방지 바 (anti-static bar) 가 장착되어 있습니다. FANUC S-420 iF에는 시각 인식, 고조파 및 레이저 측정, 웨이퍼 검사 시스템 등 다양한 액세서리 도구도 있습니다. 이러한 옵션은 전반적인 생산성과 웨이퍼 처리 품질을 높이는 데 도움이 됩니다. 게다가, 이 장치는 무거운 산업 웨이퍼 처리 공정의 엄격함을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 이러한 모든 기능을 통해 S-420 (신뢰성 있고, 정확하며, 고성능 웨이퍼 처리 툴을 필요로 하는 기업에 적합한 선택) 을 선택할 수 있습니다.