판매용 중고 FANUC S-2000I #9111963

FANUC S-2000I 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 반도체 및 관련 산업에 사용하도록 특별히 설계된 매우 다용도 및 생산성 있는 장비입니다. 개별 웨이퍼 카세트의 방향, 크기, 모양을 정확하게 감지하고 특정 처리 응용 프로그램에 필요한 정확한 움직임을 제공하는 하이브리드 비전 시스템 (hybrid vision system) 이 특징입니다. 이 장치는 다재다능하고 기능이 풍부하여 웨이퍼 톱질, 용접, 열 처리, 정렬, 형성 등 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 이 기계는 올인원 통합 로봇, 비전 도구 및 웨이퍼 처리 장비로 설계되었습니다. 이 로봇에는 고속, 정밀 재배치, 유연한 자동 초점 및 색상 인식 기능을 갖춘 통합 비전 에셋 (Integrated Vision Asset) 을 갖춘 SynciR 이동 패키지가 장착되어 있습니다. 이는 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리를 보장합니다. 이 모델에는 2 개의 전동 웨이퍼 리프트 핀 (Motorized Wafer Lift Pin) 을 포함하여 통합 된 4 축 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 가 있으며 로봇 프로그램 경로에 따라 안정적으로 웨이퍼를 운송하고 배치 할 수 있습니다. 이 장비는 도끼당 최대 2 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 총 용량은 시스템당 최대 24 개의 웨이퍼입니다. 지원되는 웨이퍼의 크기는 응용 프로그램에 따라 150mm ~ 150mm 사이입니다. 이 장치는 건조, 습식 에칭, 광학 검사, 전송, 다이빙 및 단수를 포함한 다양한 기술을 수용 할 수 있습니다. 이 기계는 자동 교정 (calibration) 및 검증 (verification) 기능으로 설계되어 수동 교정과 관련된 시간과 비용을 줄일 수 있습니다. 이 도구에는 긴급 정지 액세스 (Emergency Stop Access), 로봇 가드 (Robot Guard) 및 운영을 중단하기위한 운영자 푸시 버튼 (Push Button) 이 포함 된 포괄적 인 안전 자산도 있습니다. S-2000I 웨이퍼 핸들러는 안정적이고 비용 효율적인 모델입니다. 고급 로봇, 자동 비전 시스템 (Automated Vision System), 정확한 웨이퍼 처리 기능을 갖추고 있어 여러 웨이퍼를 보다 빠르고 효율적으로 처리할 수 있습니다. 이 장비는 웨이퍼 처리, 톱질, 용접, 열 처리, 정렬 및 형성 응용 분야에 적합합니다.