판매용 중고 FANUC R2000iB / F165 #9253600

FANUC R2000iB/F165는 효율적이고 안정적인 반도체 웨이퍼 처리를 제공하는 전용 웨이퍼 핸들러입니다. 이동식 (movable) 축 동작 장비를 갖춘 컴팩트한 디자인으로 반도체 웨이퍼 (wafer) 제작 및 테스트 프로세스에 적합합니다. 동작 시스템은 단단한 베이스 프레임, 4 축 암 및 서보 제어 선형 축으로 구성됩니다. 4 축 팔의 이동 범위는 X-Y 비행기에서 600mm, Z 축에서 최대 900mm입니다. 암에는 엔드 이펙터 마운팅을위한 Flange D 유형 커넥터와 0.02mm의 정밀 반복성이 장착되어 있습니다. R2000iB/F165에는 디지털 컨투어링 (Contouring) 제어 장치가 장착되어 있어 모션 축의 정확한 컨트롤러가 가능합니다. 이는 워크플로 효율성과 정확성을 극대화하는 데 도움이 됩니다. 또한 고속 웨이퍼 처리 기능으로 분당 최대 13 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 다른 크기의 웨이퍼를 처리하기 위해 2 개의 독립적 인 웨이퍼 포지셔닝 모드 (플랫 리프트 또는 랜덤 틸트) 를 제공합니다. FANUC R2000iB/F165는 기계 구성 요소에 대한 적절한 보호 기능을 제공하는 캐비닛 스타일의 주택에 포함되어 있습니다. 고온, 습도 조건을 견뎌내도록 설계되어 다양한 웨이퍼 처리 (wafer-handling) 어플리케이션에 적합합니다. 고속 작동시 안정적인 작동을 보장하기 위해 공구에는 진동 (Vibration) 과 소음 (Noise) 을 줄이는 동적 밸런서 (Dynamic balancer) 가 장착되어 있습니다. 또한 완전하고 통합 된 조절 가능한 공압 클램핑 (clamping) 자산이 있어 쉽고 안전한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 고급 웨이퍼 처리기인 R2000iB/F165는 다양한 안전 기능을 제공합니다. 충돌 방지 장치 (collision protection) 가 장착되어 있어 작업 중에 발생할 수 있는 갑작스런 로드 (load) 또는 객체 변경 (object change) 에 반응할 수 있습니다. 또한 움직이는 부품과의 접촉을 방지하는 가드 차폐 모델도 있습니다. 또한, 운영 시 예상치 못한 변경 사항을 감지할 수 있는 중복 안전 장치 (예: 광학 센서) 가 있습니다. 결론적으로, FANUC R2000iB/F165는 안정적이고 고급 웨이퍼 핸들러로, 고속 및 정밀 성능을 제공합니다. 컴팩트한 디자인, 정밀 제어 장비, 조절 가능한 공압 클램핑 시스템, 다양한 안전 기능으로 인해 반도체 웨이퍼 (wafer) 처리 응용 분야에 적합합니다.