판매용 중고 FANUC R2000iB 175L #9083594

FANUC R2000iB 175L
ID: 9083594
Robot Run time: 20,000 - 25,000 hours.
FANUC R2000iB 175L은 FANUC Robotics America Corporation에서 설계 및 제조 한 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 그것 은 한 "스테이션 '에서 다른" 스테이션' 으로 "웨이퍼 '기판 을 이동, 위치, 옮기는 데 도움 이 되므로, 반도체 장치 의 제조 공정 에 사용 되는 필수적 인 장비 이다. R2000iB 175L은 6 축 관절 로봇 암을 사용하여 최대 175kg의 거리에서 정확성과 속도로 웨이퍼를 이동합니다. 로봇 암에는 통합 서보 드라이브 장비와 고급 FATC (Flexible Automatic Tool Changer) 가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 필요한 경우 로봇이 도구를 변경하여, 안전성과 안정성을 높일 수 있습니다. "로봇 '암 은 또한 안정성 이 높고 내마모 기능 이 강한 매끄럽고 정확 한 움직임 조절 을 제공 한다. 또한, FANUC R2000iB 175L은 고급 웨이퍼 처리 시스템 (Advanced Wafer Handling System) 을 갖추고 있는데, 이 시스템은 웨이퍼 처리 위치의 웨이퍼를 먼 거리에서 다른 웨이퍼로 안전하게, 정확하게 전송하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 흡입 컵 웨이퍼 그리퍼 (suction cup wafer griper), 암 웨이퍼 그리핑 (arm wafer griping) 및 다양한 웨이퍼 트랩 메커니즘과 같은 다양한 옵션이 포함됩니다. 기계는 또한 고급 충돌 탐지 도구 (Advanced Collision Detection Tool) 를 포함하고 있는데, 이 도구는 로봇의 경로에 있는 장애물을 감지할 수 있고, 로봇팔이 물체와 충돌하는 것을 막을 수 있습니다. 또한 R2000iB 175L (Advanced Vision Asset) 을 통해 로봇이 주어진 영역 내에서 웨이퍼의 정확한 위치를 식별 할 수 있습니다. 이 "카메라 '는" 로봇' 이 정확 하고 안전 하게 "웨이퍼 '의 위치 를 찾는 데 도움 이 된다. 비전 장비 (vision equipment) 에는 다양한 인식 알고리즘이 있으며, 이는 로봇의 목표를 감지하고 인식하는 능력을 향상시킵니다. 또한 비전 시스템에는 OCR (Optical Character Recognition) 기능이 포함되어 있어 로봇이 웨이퍼 상의 레이블에서 일련 번호 및 기타 텍스트를 읽을 수 있습니다. FANUC R2000iB 175L은 또한 손쉬운 유지 보수 및 수리를 위해 설계되었습니다. "로봇 '은 유지 관리 나 수리 를 위해 쉽게 접근 할 수 있으며," 로봇' 의 여러 부분 을 신속 히 접근 할 수 있다. 또한, 로봇 암에는 자체 진단 기능 (self diagnosis feature) 이 포함되어 있어 오류를 빠르고 정확하게 식별할 수 있으며, 신속한 수리 또는 문제 해결이 가능합니다. 전반적으로, R2000iB 175L은 필수적이고 신뢰할 수있는 로봇 웨이퍼 핸들러로, 반도체 장치의 제조 공정의 효율성과 정확성을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 고급 기능과 설계는 웨이퍼 처리 프로세스 최적화, 안전 극대화, 오류 감소, 효율성 증대에 도움이 됩니다.
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