판매용 중고 FANUC R2000iA 200F #9083596

FANUC R2000iA 200F는 반도체 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 웨이퍼 핸들러 장비입니다. 업계 최고의 기능과 사용자 지정 옵션을 결합하여 빠르고 정확한 웨이퍼 (wafer) 이동과 조작을 지원합니다. R2000iA 200F에는 200mm 및 300mm 표준 웨이퍼 모두에 대한 고속, 비접촉 및 고정도 웨이퍼 처리 시스템이 포함되어 있습니다. "로봇 '에서" 웨이퍼' 를 수직 으로, 수평 으로 적재 하여 내리거나 수동 작업 을 할 수 있다. 이 장치는 초고속 비 접촉 웨이퍼 처리 하위 시스템을 포함합니다. 웨이퍼 핸들러는 기존 모터 대신 선형 모터 (linear motor) 를 사용하여 뛰어난 속도, 정확도 및 신뢰성을 보장합니다. 이 비접촉 디자인은 또한 고정 웨이퍼 팔레트, 플랜지 및 관련 진동이 필요하지 않으므로, 기계 작동을 위해 깨끗하고 먼지가없는 환경을 제공합니다. 고속 선형 모터 외에도 FANUC R2000iA 200F는 단일 빔 트랜스듀서 변위 측정 장치 (TDMS) 를 사용하여 고정밀 절대 위치 정보를 제공합니다. 이 정보는 오류 없는 (error-free) 정확도로 웨이퍼 처리 작업을 실행하는 데 사용되며, 웨이퍼를 이동, 배치, 제거할지 정확한 웨이퍼 배치를 보장합니다. 웨이퍼 처리 서브시스템은 안정적인 고속 웨이퍼/프레임 인식 (High-Speed Wafer/Frame Recognition) 에 필요한 모든 정보를 정확하게 결정하는 웨이퍼 매핑 도구와 결합됩니다. 이 매핑 에셋은 레이저 및 CCD 이미지 센서를 사용하여 다른 웨이퍼 처리 시스템에 비해 더 자세한 웨이퍼/프레임 맵을 생성합니다. 이 정보를 사용하여 R2000iA 200F 는 모든 방향과 모든 크기의 프레임에서 웨이퍼를 정확하게 찾아서 선택할 수 있습니다. FANUC R2000iA 200F는 모든 반도체 프로세스에 대해 믿을 수 있고, 안정적이며, 유연한 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 여러 웨이퍼 핸들러 (예: 클리닝, 정렬 기계) 를 지원 장비와 결합하여 강력한 웨이퍼 제조 라인을 만들 수 있습니다. 견고성과 정밀도를 결합한 R2000iA 200F는 오늘날의 연약하고 대용량 웨이퍼를 처리하는 이상적인 웨이퍼 처리 모델입니다.