판매용 중고 FANUC R2000iA 165F #9182820

FANUC R2000iA 165F는 자동 반도체 제조 시설에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 매우 정확한 웨이퍼 처리 로봇 (Wafer Handling Robot) 으로, 웨이퍼를 정확하게 제어하고 배치하여 하이엔드 집적회로를 생산하는 데 적합합니다. 핸들러 (Handler) 와 프로세싱 시스템 (Processing System) 의 웨이퍼 로드, 언로드, 웨이퍼 캐리어 설치, 제거 등 다양한 작업을 수행할 수 있기 때문에, 이러한 고유한 기능은 단순히 이동하는 웨이퍼 이상으로 확장됩니다. FANUC R-2000IA/165F는 메인 암, 보조 암, 선형 모터 및 통합 모션 컨트롤러로 구성됩니다. 주 팔 (main arm) 은 로봇 작업의 대부분을 담당하며, 보조 팔 (secondary arm) 은 웨이퍼 캐리어를 배치하는 데 사용됩니다. 두 무기 모두 3 차원 움직임을 조정할 수 있으며 성능을 모니터링하기 위해 높은 정확도 인코더가 장착되어 있습니다. 최대 정밀도와 정확도를 보장하기 위해 R-2000 IA/165F 는 선형 (linear) 모터와 회전 (rotary) 모터를 조합하여 웨이퍼 이동을 제어합니다. 선형 모터 (Linear Motor) 는 웨이퍼를 배치할 때 완벽한 정밀도를 제공하는 반면, 회전 모터 (Rotary Motor) 는 로봇 암이 필요한 위치에 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수있는 각도 자유도를 제공합니다. R-2000IA/165F의 로봇 암에는 안전하고 안전한 웨이퍼 처리를 위해 여러 가지 기능이 있습니다. 무기 는 "로봇 '과 그 환경 에 대한 최대한의 안전 을 제공 하는 제한" 스위치' 를 갖춘 안전 "핀 '" 모니터' 를 갖추고 있다. 또한, "로봇 '은" 와퍼' 존재 "센서 '를 사용 하는 비상 정지 기능 을 지닌 것 으로서" 로봇' 이 "웨이퍼 '가 올바른 위치 에 있지 않을 때 위험 한 움직임 을 하지 못하게 한다. FANUC R-2000 IA/165F 는 하루 24 시간 실행되도록 설계되었으며, 광범위한 진단 기능과 조정 가능한 설정 기능을 통해 성능 오류를 쉽게 파악하고 수정할 수 있습니다. 이 로봇은 또한 여러 프로토콜을 지원하므로 다양한 반도체 제작 (semiconductor fabrication) 작업에 통합 할 수 있습니다. 이 "로봇 '의 모듈' 식" 디자인 '은 쉽게 설치 할 수 있게 해 주며 견고 한 건축 은 철저 한 산업 환경 에서도 신뢰 할 만한 운영 을 보장 해 준다. 전반적으로 R2000iA 165F는 뛰어난 정밀도, 정확도 및 다재다능성을 제공하는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 다양한 반도체 (semiconductor) 제작 애플리케이션에 적합하며, 가장 까다로운 환경에서 안정적으로 작동할 수 있습니다.