판매용 중고 FANUC R2000iA 165F #9000737

FANUC R2000iA 165F는 반도체 개발 및 테스트에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 이 로봇 웨이퍼 핸들러 (robotic wafer handler) 의 프레임은 경량 알루미늄 합금으로 구성되어 있으며, 높은 트래픽 웨이퍼 생산 지역에 사용됩니다. 인상적인 최대 페이로드 용량은 165kg, 최대 1,650mm입니다. 이 웨이퍼 핸들러의 최대 속도는 X축에서 8m/s, Y축에서 4m/s입니다. FANUC R-2000IA/165F는 탁월한 정확성과 반복 성을 위해 설계되었습니다. 반복 가능성은 0.01 mm에서 0.02 mm이며, 한 번에 최대 1200 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 프로세스의 정확도를 향상시키는 고급 힘 제어 (Advanced Force Control) 기능이 장착되어 있어 웨이퍼 및 기타 부품이 프로세스 전반에 걸쳐 원시 상태를 유지할 수 있습니다. R-2000 IA/165F 는 다양한 애플리케이션별 툴을 제공하여 최적의 프로세스 자동화를 지원합니다. 멀티 로드 암 (multi-load arm) 장비를 갖추고 있으며 한 번에 최대 4 개의로드 암을 동시에 작동 할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스와 유연하게 통합되고 처리량이 빨라집니다. 자동 웨이퍼 로딩 시스템 (automated wafer loading system) 도 있습니다. 이 시스템은 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. R2000iA 165F에는 특허 모션 컨트롤러와 고급 머신 비전 기술도 장착되어 있습니다. 컨트롤러를 사용하면 정밀 동작 및 동적 프로그래밍 (dynamic programming) 을 통해 프로세스의 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 머신 비전 (Machine Vision) 기술을 통해 웨이퍼 위치 (Wafer Position) 및 단계 할당을 정확하게 추적하여 최고 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 FANUC R-2000 IA/165F는 실시간 모니터링 및 진단 기능을 제공합니다. 즉, 신속하고 간편한 문제 해결을 통해 프로세스의 정확성을 더욱 높일 수 있습니다. 또한, 포함된 운영 소프트웨어 패키지 (Operating Software Package) 는 장치가 기존 유닛을 손쉽게 통합할 수 있도록 하며, 효율적인 통합과 높은 처리량을 제공합니다. R-2000IA/165F Wafer Handler는 모두 웨이퍼 처리를 위해 강력하고 안정적인 자동 기계입니다. 강력한 프레임, 안정성, 다양한 고급 (advanced) 기능을 통해 다양한 운영 환경에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.