판매용 중고 FANUC R-J2 #9007198

FANUC R-J2는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 웨이퍼 처리 도구입니다. 최대 600mm 직경의 웨이퍼와 여러 개의 작은 6 인치 웨이퍼를 자동으로 처리 할 수 있습니다. R-J2 는 프로세스 모듈에서 자동으로 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 를 프로세스 모듈로 전송하거나 언로드 (unload) 툴링으로 전송할 수 있습니다. 대구경 웨이퍼 (wafer) 를 빠른 속도로 효율적으로 전송하는 기능은 다른 솔루션에 비해 비용 우위를 제공합니다. FANUC R-J2는 안정적이고 정확한 작동을 보장하는 견고한 설계를 갖추고 있습니다. 연약하고 짧고 작은 웨이퍼를 처리 할 수있는 유연한 웨이퍼 처리 시스템 (flexible wafer handling system) 이 특징입니다. 이 공구는 직경 2 "~ 600mm 범위의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 또한 R-J2 는 여러 프로세스 모듈 및 스토리지 시스템에서 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. FANUC R-J2의 정밀도는 0.003 ° C에서 ± 2.0mm입니다. 이것은 고정밀 서보 모터 및 드라이브 장치에 의해 제어됩니다. 구동 장치 (drive unit) 는 방진 덮개로 보호되며, 본체는 수분 내성 페인트 마감이있는 알루미늄 합금으로 구성됩니다. 이렇게 하면 도구가 열악한 환경에서 계속 작동됩니다. R-J2 는 생산성을 높이고 TCO (소유 비용) 를 절감하도록 설계된 다양한 기능과 이점을 제공합니다. 자동 웨이퍼 전송, 고속 웨이퍼 포지셔닝 및 전송, 빠른 웨이퍼 로드/언로드 기능을 제공합니다. 또한, FANUC R-J2에는 웨이퍼 캐리어를 빠르게 인식 할 수있는 비전 시스템 (vision system) 이 장착되어 웨이퍼 처리의 정확성을 향상시킵니다. R-J2 는 모션 제어 (Motion Control) 및 설계 기능 외에도 반도체 제조 공정의 다른 부분과 상호 작용할 수있는 강력한 소프트웨어 제품군을 제공합니다. 여기에는 프로세스 제어 시스템, 타사 자동화 소프트웨어, 장치 제어 시스템과 통합하는 기능이 포함됩니다. FANUC R-J2 는 소프트웨어 통합 능력을 통해 효율적이고 비용 효율적인 웨이퍼 처리 (wafer handling) 를 지원하는 귀중한 툴입니다. R-J2는 효율적인 웨이퍼 처리를 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 이 제품은 다양한 기능과 이점을 제공하므로 반도체 생산라인에 이상적인 선택이 됩니다 (영문). 정밀 포지셔닝, 견고한 설계, 통합 기능을 갖춘 FANUC R-J2는 웨이퍼 처리 프로세스 (wafer handling process) 를 개선하려는 모든 반도체 제조 시설에 필수적인 도구입니다.