판매용 중고 FANUC R-2000iB 210F #9082128

FANUC R-2000iB 210F는 웨이퍼 로드 및 언로드 프로세스를 자동화하기 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 장비는 웨이퍼 유형 (wafer type) 과 방향 (orientation) 을 인식하고 사양에 따라 방향을 지정할 수 있습니다. 이 제품은 스토리지 카세트에서 클러스터 및 기판으로 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 및 언로드 (unloading) 를 완벽하게 자동화하기 위해 생성됩니다. 이 향상된 효율성은 웨이퍼 처리의 최고 수율을 보장합니다. FANUC R2000IB 210F 웨이퍼 핸들러는 8 인치 및 12 인치 웨이퍼를 모두 사용할 수 있으며 최대 200mm 크기의 웨이퍼 카세트를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템에는 3 개의 동작 축을 포함하는 선형 로봇 암 (Linear Robot Arm) 이 있어 로봇이 고정밀 로딩 및 언로드 작업을 수행 할 수 있습니다. 로봇 암에는 2x4 구성으로 최대 8 개의 웨이퍼를 보유 할 수있는 진공 공구가 장착되어 있습니다. 이 처리기는 표준 반도체 프로세스 도구를 포함한 기존 자동 장비와 원활하게 통합되도록 설계되었습니다. 핸들러에는 정확한 웨이퍼 (wafer) 로드/언로드 (unloading) 온라인 유닛이 장착되어 있어 즉석에서 잘못된 정렬 발생을 수정합니다. R-2000IB/210F 웨이퍼 핸들러는 안전성과 신뢰성을 염두에 두고 설계되었습니다. 고해상도 "카메라 머신 (camera machine) '은" 로봇 암' 을 수동으로 조정할 필요 없이 "웨이퍼 '의 오해를 감지하고 보정할 수 있도록 설계됐다. 또한 웨이퍼 (wafer) 를 손상이나 오염으로부터 보호하기 위해 설계된 보안 기능이 내장되어 있습니다. 이 핸들러에는 오류 복구 (error recovery) 툴이 내장되어 있는데, 이 도구는 문제를 파악하고 문제가 해결될 때까지 추가 작업을 중지하도록 설계되었습니다. R-2000iB 210F 웨이퍼 핸들러는 매우 효율적이고 안정적인 자산으로, 최고 품질의 웨이퍼 로드/언로드 성능을 제공합니다. 정확하고 유연한 로봇 암 (robotic arm), 웨이퍼 프로세스 흐름 및 안전 및 품질 기능에 쉽게 통합 할 수있는 FANUC R-2000IB/210F 웨이퍼 핸들러는 빠르고 정확하게 웨이퍼를 로드하고 언로드하는 데 이상적인 선택입니다.