판매용 중고 FANUC R-2000 IB #9251417

FANUC R-2000 IB는 반도체 산업의 고속 및 정밀 웨이퍼 처리를 위해 설계된 로봇 웨이퍼 처리 장비입니다. 6 축 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있으며 고급 모션 컨트롤 및 비전 시스템을 통해 매우 정확한 웨이퍼 처리 작업을 달성 할 수 있습니다. FANUC R2000IB는 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 속도는 80mm/sec입니다. 매우 정확한 6 축 로봇 엔드 이펙터는 픽 앤 플레이스 (pick-and-place) 이동 및 정렬 등 다양한 처리 작업에 대해 유연하고 정확한 웨이퍼 위치를 제공합니다. 이를 통해 시스템은 소형 다이 사이즈 (200mm) 에서 다양한 크기, 모양, 재료를 갖춘 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 비전 유닛은 R-2000 IB의 자동 작업용 주 도구이며, 고해상도 카메라 머신을 사용하여 개별 다이 (die) 또는 웨이퍼 (wafer) 면을 인식하도록 구성할 수 있습니다. 이 시각적 피드백 (Visual Feedback) 은 로봇과 웨이퍼 간의 잘못된 정렬을 최소화하여 인간 개입을 최소화하면서 정확하고 반복 가능한 처리 결과를 보장합니다. 또한 FANUC 또는 타사 공급업체에서 제공하는 다양한 소프트웨어 어플리케이션 (예: FANUC) 을 통해 툴을 간편하게 관리할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 로봇 작동을 사용자 정의하고, 웨이퍼 처리를 위해 바람직한 프로그램을 만들고, 가공 패스 수, 진동 수, 기타 작동 매개변수 (operating parameter) 를 포함한 모든 운영 데이터를 추적 및 기록할 수 있습니다. R2000IB는 광범위한 안전 기능과 내장된 FAF (fail-safe) 덕분에 매우 신뢰할 수 있는 자산입니다. 여기에는 force-sensing 모델, redundant actuator 및 예상치 못한 이벤트를 감지하고 수정하기위한 고속 감지 루프가 포함됩니다. 따라서 업무 환경이 안전하고 안심할 수 있으며, 운영 중 업무 중단을 최소화하면서 유연하고 정확한 wafer (웨이퍼) 처리가 가능합니다.