판매용 중고 FANUC N-61 #9168237

FANUC N-61 Wafer Handler는 반도체 및 나노 기술 산업을 위해 특별히 설계된 고속, 다중 축 웨이퍼 자동화 장비입니다. 이 시스템은 직경이 최대 80mm 인 최대 30 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 제품은 시스템 작동이 용이한 모든 기능을 갖춘 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 갖추고 있으며 유연한 프로그래밍 가능한 제어 아키텍처와 통합 모션 제어 플랫폼 (Motion Control Platform) 을 갖추고 있습니다. N-61 웨이퍼 핸들러 (N-61 Wafer Handler) 에는 부드럽고 정확한 동작 제어를 제공하는 최적화된 드라이브 장치가 있어 유휴 시간이 단축됩니다. 이 기계는 또한 데이터 처리 기능이 높은 고급 모션 제어 플랫폼 (Advanced Motion Control Platform) 을 갖추고 있어 빠르고 정확한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 이 도구는 고급 센서 (Advanced Sensor) 와 제어 알고리즘 (Control Algorithm) 을 사용하여 모든 자동화 프로세스의 정확성과 일관성을 보장합니다. FANUC N-61 Wafer Handler는 photoresist 코팅, 에칭 및 검사와 같은 반도체 생산에 사용되는 웨이퍼를 처리하는 데 이상적입니다. 또한 웨이퍼를 전송, 회전, 방향을 지정하는 한편, 정확한 위치 지정, 정렬, 방향 지정 기능을 제공할 수 있습니다. 또한, 자산은 처리 장치에서 웨이퍼 스태킹, 로드 및 언로드 프로세스를 자동화 할 수 있습니다. 이 모델은 다양한 스마트 서보 모터 (Smart Servo Motor) 를 사용하여 기판에 웨이퍼 (Wafer) 를 정확하게 배치하면서 다양한 웨이퍼 크기를 정확하게 이동하고 회전시킬 수 있습니다. 또한, 장비는 미리 정해진 경로, 짧은 이동 주기, 최대 100mm/s의 속도로 웨이퍼를 재배치 할 수 있습니다. 유연한 레이아웃을 통해 모든 애플리케이션에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. N-61 Wafer Handler는 개선 된 로봇 픽 및 플레이스 시스템을 갖추고 있습니다. 통합 픽 앤 플레이스 헤드 (pick and place head) 를 사용하면 멀티 핑거 척 (multi-finger chucks) 에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 로드하고 언로드할 수 있으므로 비용이 많이 들고 시간이 많이 소요되는 작업을 제거할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 감지 및 안전 (sensing and safety) 기능이 포함되어 있으며 ESD, CE 등의 국제 표준을 준수하여 기계의 안전한 작동을 허용합니다. 결론적으로, FANUC N-61 Wafer Handler는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 고급 산업 등급 도구입니다. 웨이퍼 처리에 대한 유연한 접근 방식을 제공하며, 빠르고, 정확하며, 정확한 동작 제어를 제공합니다. 이 자산은 업계 표준을 안전하고, 안전하며, 준수하며, 광범위한 웨이퍼 (wafer) 처리 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.