판매용 중고 FANUC M16iL #9082132

FANUC M16iL 웨이퍼 핸들러는 200mm 및 300mm 웨이퍼를 처리하도록 설계된 정밀 자동 장치입니다. 견고한 구조로 다양한 방향에서 웨이퍼의 빠르고 정확한 이동이 가능하며, 웨이퍼 검사 및 정렬, 단일 테이프 검사, 멀티 루프 처리 (multi-loop handling) 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. M16iL은 핸들링 암, 웨이퍼 지원, 핫링크 이동 장비, XY 테이블 및 Control Station으로 구성됩니다. 최대 전송 속도는 초당 140mm이고 최대 가속도는 초당 7500mm입니다. 기계의 반복성은 + - 0.05mm 이하이며, 최대 2000kg의 움직이는 부하를 허용합니다. 처리 암은 알루미늄 서보 모터 베이스 (aluminum servo motor base) 를 지원하는 일련의 알루미늄 프로파일과 최대 150kg의 페이로드 (payload) 로 만들어집니다. 암은 동기화 된 드라이브 시스템 (Synchronized Drive System) 을 통해 작동하여 전체 웨이퍼를 효율적으로 덮을 수 있습니다. 팔 (arm) 은 회전, 선형 및 변환 동작을 위해 구성 될 수 있으며, 0 ~ 190도 사이에서 회전 할 수 있으며, 팔은 호와 같은 동작으로 와퍼 (wafer) 고정기에서 로봇 그리퍼로 180도 위로 이동할 수 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 지지대는 전동식 슬라이딩 베이스 플레이트로, 웨이퍼의 크기를 홀더 크기로 조정합니다. 닫힌 루프 장치 및 모터는 정확하고 정확하게 제어됩니다. 베이스 플레이트 이동은 3 개의 서보 모터 (servomotor) 에 의해 관리되며, 이는 다중 및 반복 움직임을 제공 할 수 있습니다. 핫링크 이동 기계는 상처의 X 축과 Y 축을 따라 웨이퍼를 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. 그렇게 하기 위해, "핫링크 '에는" 웨이퍼' 배치 의 정확성 과 속도 가 보장 되는 4 개 의 "스테퍼 모우터 '가 장착 되어 있다. XY 테이블은 웨이퍼 전송 기계의 중앙 스테이션입니다. 그것은 기계의 X 및 Y 움직임을 제어하는 4 개의 선형 슬라이드, 2 개의 서보 모터 및 2 개의 스테퍼 모터로 구성됩니다. FANUC M16iL은 XY 테이블로 최대 30mm/s의 속도에 도달하여 고속 웨이퍼 전송이 가능합니다. M16iL의 Control Station은 운영자와 시스템 간의 인터페이스입니다. Control Station 은 원활한 시작/중지 기능, 터치 패널 디스플레이 (Touch Panel Display), 시스템 제어용 채널 10 개 등 다양한 기능을 통해 손쉽게 작업을 수행할 수 있습니다. 결론적으로, FANUC M16iL은 최대 200mm 및 300mm 웨이퍼를 처리 할 수있는 정밀 자동 웨이퍼 처리 기계입니다. 다양한 기능을 갖추고 있으며, 핫링크 이동을 활용하며, 0.05mm 이하의 반복 기능을 갖추고 있습니다. Control Station 은 손쉽게 작동할 수 있으며, 효율적이고 빠른 Wafer 전송을 보장하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다.