판매용 중고 FANUC M-6iB #9111790

FANUC M-6iB 6 축 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼를 처리하기위한 고급 로봇 솔루션입니다. FANUC 로봇 공학 (FANUC Robotics) 이 개발 한이 다목적 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 검사 및 정렬, 마이크로 전자 구성 요소의 자동 조립, 웨이퍼 레벨 패키징 등 다양한 웨이퍼 처리 작업을 수행 할 수 있습니다. M-6iB의 최대 페이로드 용량은 3kg이며 최대 작동 반경은 600mm입니다. 이 범위 내에서, 웨이퍼 핸들러는 + -0.05mm의 반복 가능성으로 다양한 위치에 도달하고 결정할 수 있습니다. 이 제품은 내구성, 유지 보수 기능이 없는 강화 플라스틱 코팅 (plastic coating) 을 갖추고 있으며 볼 스크류 드라이브 메커니즘은 동급 최고의 로드 베어링 기능과 가속을 제공합니다. FANUC M-6iB는 사용자에게 6축 구성의 다양한 모션 범위를 제공합니다. 첫 번째 축은 최대 214 도의 반복 손목 회전이며, 두 번째 축은 최대 210 도의 피치 기울기입니다. 선형 슬라이드 축은 최대 360mm 스트로크를 제공하며, 특수 회전 축 (special swivel axis) 은 단일 위치에서 360도 회전을 허용합니다. 마지막 두 축은 + -225도의 라이더 쉽 각도를 제공합니다. 프로그래밍 측면에서, 이 웨이퍼 핸들러는 사용하기 쉬운 프로그래밍 방법뿐만 아니라 FANUC 고급 PC 기반 소프트웨어로 Motion Code 언어를 제공합니다. FANUC ROBOGUIDE 시뮬레이션 및 프로그래밍 환경을 통해 사용자는 웨이퍼 핸들러 동작을 시각화, 시뮬레이션 및 프로그램 할 수 있습니다. 페이로드 용량, 반복성, 동작 범위, 쉬운 프로그래밍 기능 덕분에 M-6iB 6축 웨이퍼 핸들러는 반도체 업계의 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 견고한 디자인과 강력하고 다양한 기능으로 인해 웨이퍼 (wafer) 처리 요구 사항에 이상적입니다.