판매용 중고 FANUC M-6iB #293614897
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FANUC M-6iB는 제조 공정 효율성을 향상시키기 위해 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 동시 공급, 처리, 로더/언로더, 정렬 기능 등 다양한 wafer 처리 기능을 제공합니다. 모듈식 설계를 통해 다양한 생산 라인에 쉽게 통합할 수 있으며, 반도체 칩, MEMS 장치, 광 장치 (optical device) 등의 애플리케이션에 사용될 수 있습니다. M-6iB에는 최고의 정확성과 성능을 위해 최신 FANUC 로봇 기술이 장착되어 있습니다. 로봇 암은 이중 축 동기 서보 기술을 갖춘 고급 선형 모터 드라이브 시스템을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 빠르고 정확하며 반복 가능한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 로봇은 또한 2 축 정렬의 유연한 작동을 위해 고급 독립 메커니즘 (Advanced Independent Mechanism) 을 갖추고 있어 매우 효율적인 웨이퍼 에지 (Wafer Edge) 정렬 및 선택/배치 작업을 수행할 수 있습니다. FANUC M-6iB 는 대용량 운영 애플리케이션에 적합한 다양한 고급 기능을 제공합니다. 여기에는 유연한 로더 및 언로더가 내장되어 있어 최대 8 개의 8 인치를 동시에 처리할 수 있습니다. (200mm) 웨이퍼. 이 설계는 빠른 속도와 효율적인 로드, 언로드 및 전송 작업을 제공합니다. M-6iB에는 웨이퍼를 정확하게 감지하고 측정하는 특수 비전 시스템도 포함되어 있습니다. 또한 FANUC M-6iB는 뛰어난 작업 성능 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 스테인레스 스틸 구조는 장기적인 내구성과 유지 보수 비용 절감을 위해 설계되었습니다. 또한 운영자와 장비 모두를 보호하기 위한 다양한 안전 (Safety) 기능이 포함되어 있습니다. 또한 M-6iB 는 여러 사용자 인터페이스를 제공하여 구성 및 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 전반적으로, FANUC M-6iB 자동 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 처리 요구를 위한 고급적이고 효율적인 솔루션입니다. 유연한 작동과 모듈식 (modular) 설계로 다양한 생산 라인에 적합합니다. 로봇 암은 높은 정확성, 강력한 작동 및 장기적인 내구성을 위해 최신 FANUC 기술을 갖추고 있습니다. M-6iB 는 또한 다양한 로드, 언로드, 정렬 기능을 제공하여 대용량 운영 라인에 적합합니다.
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