판매용 중고 FANUC F-200i #166084

제조사
FANUC
모델
F-200i
ID: 166084
Robot.
FANUC F-200i는 광범위한 산업 애플리케이션을 위해 설계된 포괄적 인 웨이퍼 핸들러입니다. 자동화된 시스템의 웨이퍼 전송, 정렬, 방향 조정 과정을 자동화하는 데 도움이 됩니다. 즉, 운영 체제의 개입과 다운타임을 최소화하여 정확하고 신속한 wafer 전송 및 정렬 작업을 수행할 수 있습니다. F-200i의 기본 프레임은 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되며 높은 정확도의 볼 스크류 모션 시스템으로 구동되는 스태커 백플레이트 (stacker backplate) 와 로봇을 사용합니다. 로봇 암은 방사형 축과 각축을 따라 회전합니다. 이 직립 "로봇 '암은 기지를 따라 4 점 접촉으로 안정성을 유지하면서 미끄러지고 기울어질 가능성을 더욱 줄입니다. 먼지 수집 장치는 FANUC F-200i 바닥에 전략적으로 배치되며, 먼지 및 기타 입자가 장비에 들어가는 것을 방지하는 데 도움이됩니다. 산업 등급 진공 및 냉각재 팬이 최적의 온도를 제어하고 유지합니다. 이 시스템에는 먼지 수집 모니터 (dust collection monitor) 도 포함되어 있어 모든 먼지 축소를 모니터링하고 사용자에게 알립니다. F-200i에는 통합 비전 모듈 장치 및 특허 비전 중심 장치도 포함됩니다. 이 장치는 중앙 안내 핀을 사용하여 와퍼를 로봇 암에 올바르게, 정확하게 중앙에 배치합니다. 비전 모듈 머신 (vision module machine) 은 다양한 웨이퍼 및 디바이스에서 모든 광 정보를 모니터링하고 캡처합니다. 이 데이터는 FANUC F-200i 내부 소프트웨어에 의해 수집 및 분석되어 웨이퍼가 올바르게 해제됩니다. F-200i 는 외부 시스템과 연동, 통신, 데이터 교환을 위한 유연하고 개방적인 네트워크 프로토콜을 갖추고 있습니다. 데이터는 또한 마지막 세션 반복 주기와 향후 처리 요구를 위해 내부 데이터베이스 (internal database) 에 저장됩니다. 탁월한 정밀 제어, 안전 기능 및 인터페이스를 갖춘 FANUC F-200i (FANUC F-200i) 는 빠르고 정확한 웨이퍼 처리가 필요한 다양한 산업 어플리케이션에 적합합니다.
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