판매용 중고 FANUC Alpha T14iEL #9093279

FANUC 알파 T14iEL 웨이퍼 핸들러 (FANUC Alpha T14iEL wafer handler) 는 반도체 제작 프로세스를 웨이퍼 로딩 및 이동 형태로 자동화하도록 설계된 고급 로봇 장치입니다. 자동화된 기술을 사용하여 운영 속도를 높이고 오류를 줄이는 기능은 알파 T14iEL (Alpha T14iEL) 의 장점으로 잘 알려져 있습니다. FANUC Robot-Arm System의 혜택을 얻은 FANUC Alpha T14iEL은 모든 반도체 웨이퍼 처리 작업에 고급 기능을 제공합니다. "로봇 '기지 는 제조 공정 지원 에 필요 한 모든 요구 조건 을 충족 시키기 위한 광범위 한 여행 을 하고 있으며, 다양 한 작업 을 수행 할 수 있는 뛰어난" 페이로드' 와 유연성 을 제공 한다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 통합 센서와 드라이브로 설계되어 정확한 제어를 보장하며, 다양한 고급 기계식 부품이 제공됩니다. 손목 범위는 359ä이며 최대 7kg의 동적 페이로드를 제공합니다. 최대 1240 밀리미터 (1240 mm) 에 도달하면 다양한 모양과 크기의 다양한 웨이퍼 (wafer) 와 기판을 처리하고 적재 할 수 있습니다. X, Y, Z 방향에서 다른 구성 요소를 정확하게 정렬하는 기능과 함께 2D/3D 인식 정확도 0.2mm (0.2 mm) 의 통합 비전 시스템을 사용하면 효율적이고 정확한 프로세스 처리가 가능합니다. 또한 FANUC iPendant 및 로봇에 최적화된 RTC (Robot Tool Changer) 와 같은 자동 도구를 사용하여 프로그래밍을 단순화합니다. Alpha T14iEL은 반도체 처리 단계에서 효율성과 정확성을 높이도록 설계되었습니다. FANUC 알파 T14iEL (Alpha T14iEL) 은 표준화된 문서와 사용자 친화적이고 안정적인 운영을 통해 더 빠르고 안전하게 웨이퍼 처리 작업을 수행합니다. 이 모든 것은 경험이 풍부한 현장 지원 팀과 최대 12 개월의 보증 (보증) 을 통해 지원됩니다.