판매용 중고 FANUC Alpha T14iEe #9244558

FANUC Alpha T14iEe는 주요 로봇 회사 중 하나 인 FANUC가 개발 한 웨이퍼 핸들러입니다. 알파 T14iEe (Alpha T14iEe) 는 시간당 최대 3500개의 웨이퍼 속도에 도달 할 수있는 높은 생산성, 완전 자동화 된 웨이퍼 핸들러입니다. T14iEe는 멀티 스테이지 진공 로봇, 소형, 자체 포함 로딩 및 언로드 스테이션, 유연한 플레이트 구동 전송 시스템을 갖추고 있습니다. 다단계 진공 로봇은 정확한 픽과 플레이스 작동을 위해 설계되었습니다. 고속, 정확한 배치 및 확장 된 작업 영역이 특징입니다. 컴팩트 로드 (compact loading) 및 언로드 스테이션은 짧은 주기와 높은 생산 처리량을 가능하게합니다. 전송 시스템은 플레이트 (plate-driven) 방식이며 다양한 트레이 형식과 치수를 허용하는 조절 가능한 요소를 포함합니다. T14iEe는 3 인치 및 5 인치 웨이퍼 크기를 모두 처리하도록 설계되었습니다. 이 로봇은 코팅 (coating), 베이킹 (baking), 라미네이트 (laminating), 스핀 코팅 (spin-coating) 과 같은 다양한 레시피와 다른 기능들을 위해 프로그래밍 될 수 있습니다. 또한 T14iEe 는 고급 타사 시스템과 통합하여 효율성 및 프로세스 제어를 강화할 수 있습니다. T14iEe에는 웨이퍼 잠금 (wafer lock), 위치 센서, 에지 센서 및 PLC 인터페이스와 같은 옵션 기능이 장착되어 있습니다. "웨이퍼 '자물쇠 는" 로봇' 에서 미끄러지는 것 을 막아 안전 한 "웨이퍼 '수송 을 보장 해 준다. 위치 센서는 웨이퍼의 정확한 배치를 보장합니다. 가장자리 센서는 웨이퍼 가장자리에 대한 손상을 감지합니다. PLC 인터페이스를 사용하면 외부 PLC (programmable logic controller) 와의 자동 제어 및 통신이 가능합니다. T14iEe는 항상 안정적인 성능을 제공하여 웨이퍼 처리 (wafer handling) 요구 사항에 적합한 제품입니다. 이 로봇은 또한 SEMI 표준을 준수하며, 정확성과 안전성에 대한 업계 최고의 사양을 충족시킵니다. T14iEe 는 매우 효율적이며, 작은 크기로는 단단한 공간에 적합합니다. 다양한 기능, 빠른 속도, 사용 편의성, 다양한 기능을 갖춘 T14iEe 는 Wafer 처리를 위한 강력하고 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.