판매용 중고 FANUC a-S150iA #9239040

FANUC a-S150iA (FANUC a-S150iA) 는 높은 수준의 반복 성과 정확도로 고정밀 웨이퍼 처리 동작을 생성 할 수있는 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 고속, 유연성이 뛰어난 웨이퍼 핸들러로서 a-S150iA는 웨이퍼 처리에서 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이 로봇은 6축 동작 기능을 갖추고 있어, 처리 작업 중 웨이퍼를 매우 정확하게 배치할 수 있습니다. FANUC a-S150iA는 직경 200mm ~ 600mm 범위의 웨이퍼를 포지셔닝 및 전송 할 수 있습니다. 고속, 다이렉트 드라이브 모터 (direct-drive motor) 및 고급 리니어 모터 (linear motor) 를 장착하여 속도 및 정확도를 높입니다. 이 로봇에 사용되는 컨트롤러는 고급 컨트롤러 (Advanced Controller) 로, 다양한 로드 및 가속 조건에서 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 의 움직임을 높은 수준의 반복성으로 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 컨트롤러는 또한 높은 수준의 유연성을 제공하여 다양한 웨이퍼 처리 (wafer-handling) 작업에 대해 최대 2000 개의 좌표점을 프로그래밍할 수 있습니다. A-S150iA에는 안전한 그립핑을위한 강력한 드라이 클로 (dry claw) 와 더 안전한 부품 취급을위한 진공 침대가 있습니다. 이것 은 섬세 한 "웨이퍼 '의 손상 을 방지 하기 위하여 부드러운 취급 이 필요 한 응용 분야 에서 특히 유익 하다. 이 로봇은 또한 대화식 교육 펜던트 (interactive teaching pendant) 와 PC 또는 기타 외부 장치에 쉽게 연결할 수있는 인터페이스 (interface) 를 갖추고 있습니다. 안전성 측면에서, 이 로봇은 산업 안전 규정을 포함한 모든 안전 기준 (Safety Standard) 을 완벽하게 준수합니다. "로봇 '은 영역 모니터링 구역 을 이용 하여" 로봇' 의 작업 범위 밖 에 안전 하게 작동 한다. 또한, 이 로봇은 비상 정지 (Emergency Stop) 및 E-stop (E-stop) 과 같은 기본 기능과 암호화된 통신 및 분리 제어 시스템을 갖추고 있으며, 이는 로봇의 무단 액세스 및 작동을 방지합니다. 전반적으로, FANUC a-S150iA는 매우 정밀하고 안전하도록 설계된, 고도로 맞춤형 웨이퍼 핸들러입니다. 강력한 드라이브 모터 (Drive Motor), 리니어 모터 (Linear Motor) 및 고급 컨트롤러 (Advanced Controller) 는 모두 함께 작동하여 매우 정밀하고 반복 기능을 통해 다양한 유형의 웨이퍼를 처리할 수 있는 매우 간결하고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 다양한 어플리케이션에 매우 유연하며, 직관적인 펜던트 (pendant) 및 원격 (remote) 주변 장치 인터페이스를 통해 다양한 작업을 쉽고 효율적으로 프로그래밍할 수 있습니다.