판매용 중고 FANUC a-S100iA #9222704

FANUC a-S100iA (FANUC a-S100iA) 는 카세트에서 웨이퍼를 완전 자동 로드, 언로드하는 등 다양한 작업에 사용할 수 있는 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 카세트에서 200mm 또는 300mm 웨이퍼를 파악하고, 고정하고, 필요한 위치로 정확하게 전송할 수 있는 2개의 고정밀 (high-precision) 로봇 암을 갖추고 있습니다. 웨이퍼 자체에 피해를 입히지 않고이를 수행 할 수 있습니다. 로봇 암은 일련의 5 축 동작을 사용하여 정확한 속도, 위치 및 가속 제어를 얻습니다. 로봇에는 안전하고 정확하며 반복 가능한 동작을 보장하기 위해 독립 컨트롤러가 장착되어 있습니다. FANUC는 최종 접근 이전의 편의성 (ease point) 을 포함하여 목표 위치를 획득하고 유지할 수 있습니다. 즉, 카메라, 조작기 및 기타 주변 장치를 극도로 정확하게 이동시켜 시스템 정확도에 중요한 역할을 할 수 있습니다. a-S100iA의 제어는 CATS (Computer Aided Teaching Software) 보드를 통해 작동합니다. 이 보드는 wafer 핸들러에게 명령을 신속하게 지시하여 사용자에게 도움을 줍니다. CATS (CATS) 는 프로그래밍을 단순화하며, 따라서 사용자는 최소한의 노력으로 교환 가능한 작업을 신속하게 수행할 수 있습니다. 또한 Hand Teach, Dry Run 및 Memory 백업과 같은 고급 교육 기능을 고정밀 애플리케이션에 활용할 수 있습니다. 속도, 정확성 및 높은 반복성을 위해 FANUC a-S100iA는 인상적인 장치입니다. 로봇 암은 비전 시스템 (vision system) 과 이미지 처리 기술을 사용하여 직경 200 ~ 300mm 범위의 웨이퍼를 감지하고 정렬합니다. 연속으로 2 개의 웨이퍼를 잡아서 제거 할 수 있으며, 수송을 위해 확보할 수 있습니다. 단일 웨이퍼 로드 및 언로드를 위해 로봇을 프로그래밍 할 수도 있습니다. 웨이퍼 핸들러에는 동적 힘 제어 (dynamic force control) 기능이 있어 로드, 처리 및 언로드 중에 웨이퍼에 적용되는 힘을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 즉, 작업의 정확성과 안전성이 향상되어 처리 오류가 줄어듭니다. A-S100iA 는 웨이퍼 (wafer) 를 효율적이고 효율적으로 운반하고 무결성을 유지하는 한편, 어떠한 종류의 오해나 손상을 방지할 수 있습니다. 전반적으로, FANUC a-S100iA 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 섬세한 웨이퍼를 정확하고 안전하게 운송 할 수있는, 인상적인 정밀도를 제공하는 업계 최고의 제품입니다. 이 "핸들러 '는 공정 전체 에 걸쳐" 웨이퍼' 의 무결성 을 유지 하면서 고속 과 정확성 을 제공 하도록 설계 되었다. 5 축 로봇 암과 정교한 CATS 보드 a-S100iA를 사용하면 안정적이고 반복적으로 작동하므로 웨이퍼 처리 솔루션에 이상적입니다.