판매용 중고 FANUC 90-30 #191354
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FANUC 90-30은 업계 최고의 로봇 회사 인 FANUC에서 제조 한 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 다양한 자동 시스템 (automated systems) 과 통합되도록 설계되었으며, 하나의 장비로 여러 웨이퍼 (wafer) 처리 응용 프로그램을 쉽게 관리할 수 있습니다. 장비는 기본 섀시, 2 개의 컨베이어 스테이지 (각각 여러 컨베이어 암으로 구성) 및 1 개 이상의 웨이퍼 캐리어로 구성됩니다. 이 제품은 매우 효율적이고 유연한 시스템으로 설계되었으며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 숫자를 처리할 수 있습니다. 컨베이어 암은 전방향성 (omni-directional) 설계를 특징으로하여 모든 방향으로 자유롭게 움직일 수 있습니다. 또한, 이 장치 에는 진공 "그리핑 '기계 가 포함 되어 있어서, 운반 대 와" 컨베이어' 사이 의 "웨이퍼 '를 빠르고 안전 하게 운송 할 수 있다. 이 도구는 최대 800mm/s의 고속 수송이 가능하여 높은 처리량을 보장합니다. 또한 강한 흡입 암 (suction arm) 과 조절 가능한 속도 구성 요소가 장착되어 민감한 웨이퍼 재료를 처리할 수 있습니다. 에셋은 또한 자동 웨이퍼 정렬 (automated wafer alignment) 및 위치 감지 (position detection) 기능을 제공하여 각 웨이퍼 위치를 식별하고 가장 적절한 처리 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 먼지 조절 시스템 (dust control system) 이 장착되어 있어 웨이퍼가 환경의 영향을 받지 않습니다. 90-30은 신뢰성이 높고 일관성이 높으며, 1,000,000 시간 이상의 MTBF (mean time before failure) 를 자랑하여 가장 집중적 인 산업 응용 프로그램에도 적합합니다. 이 모델은 또한 최대 100 개의 프로그램을 저장할 수 있으며, 모든 작업을 정확하게 제어 할 수 있습니다. FANUC 90-30은 성능과 안정성 외에도 최대한의 안전을 위해 설계되었습니다. 비상용 정지 (Emergency Stop) 기능이 장착되어 있어 위험 상황에서 중지할 수 있으며, 부품 중심의 별도의 클리닝 (Cleaning) 및 유지 보수 시스템 (Maintenance System) 을 통해 모든 부품을 깨끗하게 유지할 수 있습니다. 90-30은 웨이퍼 재료를 처리하는 데 이상적인 선택입니다. 혁신적인 디자인, 고속 운송, 자동 웨이퍼 정렬 (automated wafer alignment) 및 먼지 조절 시스템 (dust control system), 신뢰성 있는 성능을 통해 모든 종류의 자동 웨이퍼 처리 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.
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