판매용 중고 FANUC 430iW #9082135

FANUC 430iW는 반도체 산업을위한 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 최신 기술로 작동하여 웨이퍼 기판 (Wafer Substrate) 처리 시 효율성 및 품질 제어를 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장비는 XYZ 웨이퍼 핸들러 (XYZ Wafer Handler), 유연한 활동 제어 모듈 및 다양한 감지 시스템과 같은 기본 구성 요소로 구성됩니다. 430iW XYZ 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 웨이퍼 기판의 처리를 기계화하는 조정 가능한 선형 동작 시스템입니다. 이 제품은 5 마이크로미터의 고속 작동 및 동작 제어 (motion control) 정확도를 지원하며, 일관된 성능으로 정밀 웨이퍼 처리 및 조작을 가능하게 합니다. 선형 모션 레일 (Linear Motion Rail) 에 장착된 모터는 여러 축에서 동시 및 조정 가능한 이동을 위해 동기화 될 수 있습니다. 유연한 활동 제어 모듈은 FANUC 430iW의 실시간 컨트롤러입니다. "프로그램 '이 가능 한 자동화 를 통해" 웨이퍼 핸들러' 를 여러 가지 작업 에 맞게 조정 할 수 있다. 유연한 활동 제어 모듈 (Flexible Activity Control Module) 은 장치의 작동을 조절하고 모니터링하며, 모터의 움직임을 제어하고, 센서에 응답하며, 모터의 열, 압력, 토크 출력을 제어합니다. 430iW는 여러 센서 시스템과 통합되어 다양한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 작업에서 전반적인 성능을 향상시킵니다. 진공 "센서 '기계 는 진공 압력 을 감시 하고 처리 중 에" 웨이퍼' 를 안전 하게 보관 하는 데 필요 한 힘 을 조정 한다. 힘 센서 도구 (force sensor tool) 는 조작 중에 웨이퍼에 적용된 힘을 모니터링하고 필요에 따라 조정합니다. 또한 '드롭 감지 (Drop Detection)' 센서가 특징으로, 웨이퍼의 낙하를 감지하여 잠재적 손상을 방지합니다. 전반적으로 FANUC 430iW는 반도체 산업을위한 고성능 웨이퍼 처리 솔루션입니다. XYZ 웨이퍼 핸들러 (XYZ Wafer Handler), 유연한 활동 제어 모듈 (Flexible Activity Control Module) 및 다양한 감지 시스템의 조합은 웨이퍼 기판을 처리하는 동안 정밀도 및 고속 작동을 보장합니다. 이는 많은 첨단 기술 (Advanced Technologies) 생산에 사용할 수 있는 안정성이 높고 강력한 자산입니다.