판매용 중고 FANUC 420F #9001350

FANUC 420F는 FANUC Robotics에서 제조 한 완전한 기능의 웨이퍼 처리 로봇입니다. 반도체 제조와 관련하여 실리콘 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 420F의 주요 기능은 동작, 성능, 신뢰성 및 무게의 네 가지 영역에서 찾을 수 있습니다. 동작은 SCARA (selective compliance assembly robot arm) 와 6 축 관절 로봇 암으로 구성된 2 암 구성에 의해 활성화됩니다. 그 들 은 함께, 신속 하고 정밀 한 선형, 각도 의 이동 을 허용 하며, 넓은 지역 을 망라 할 수 있다. 또한 다이렉트 드라이브 조인트 슬라이드 유형 절대 인코더와 함께 고정밀 모터 구동 서보 모터에 의해 성능이 향상되었습니다. 이를 통해 빠른 주기 시간과 작업 영역 증가가 가능합니다. FANUC 420F의 신뢰성 (Reliability of FANUC 420F) 은 연약한 웨이퍼를 처리하도록 설계된 이후 작동 중 기본 요소입니다. 따라서 로봇에는 로봇 상태 모니터, 암 보호 커버 (arm protection cover), 수냉식 모터, 토크 센서 (torque sensor) 옵션 등 여러 가지 보호 기능이 장착되어 있습니다. 또한 420F는 안정적인 자동화를 위해 비전 기반 피드백을 통합합니다. 이 기능을 통해 로봇은 웨이퍼에서 위치 정보 (location information) 를 직접 수신하여 조작을 용이하게합니다. 로봇 자체는 무게가 약 894 파운드이며 한 번에 최대 12 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 선택적으로, 이 로봇에는 픽업 암 (pick-up arm) 이 장착 될 수 있으며, 동시에 작동 할 수있는 웨이퍼 수가 더 증가합니다. 또한 배터리 없는 메모리 카트리지 (battery-less memory cartridge) 와 I/O 장치 (I/O unit) 를 장착하여 외부 조건에 영향을 받지 않고 로봇을 작동시킬 수 있습니다. 요약하면, FANUC 420F는 신뢰할 수 있고 강력한 웨이퍼 처리 로봇으로, 모터 구동 서보모터 (servomotor), 비전 기반 피드백 시스템, 신뢰성 있는 자동화를 보장하는 다양한 보호 기능을 사용합니다. 한 번에 최대 12 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 2 암 디자인과 용량은 반도체 제작에 이상적인 선택입니다.