판매용 중고 FANUC 410 #9000722

FANUC 410은 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 다양한 생산 모듈 사이에 웨이퍼 (wafer) 와 웨이퍼 카세트 캐리어 (wafer cassette carrier) 를 운송하는 완전 통합 로봇 웨이퍼 전송 장비입니다. 공장환경 내에서 웨이퍼와 캐리어를 정확하고 정확하게 전송할 수 있는 효율적이고 신뢰할 수 있는 방법입니다 (영문). 410의 코어는 고급 AWTS (Automatic Wafer Transfer System) 입니다. 이 장치는 로봇 암, 비전 머신, 센서 컨트롤 및 PC 소프트웨어로 구성됩니다. "암 '은 견고 하고 신뢰 할 만한 것 으로 설계 되어 있으며, 근원 에서 목적지 로 일관성 있게 움직 일 수 있다. 시각 도구 (vision tool) 에는 CCD 카메라와 다양한 관련 광학이 포함되어 있어 수송 중인 웨이퍼를 식별하는 효율적이고 정확한 방법을 제공합니다. 센서 (sensor) 컨트롤은 전송 중 발생할 수 있는 모든 문제를 감지하여 웨이퍼 (wafer) 와 캐리어 (carrier) 가 항상 올바르게 처리되도록 설계되었습니다. 마지막으로, 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 인터페이스와 다양한 컨트롤을 제공하여 정확성을 유지하고 오류를 최소화할 수 있습니다 (영문). 또한 FANUC 410에는 기능을 향상시키기 위해 추가 할 수있는 몇 가지 옵션 기능이 있습니다. 예를 들어, 웨이퍼 클리너/스크러버 (Wafer Cleaner/Scrubber) 자산을 추가하여 화학물질과 먼지에서 웨이퍼와 캐리어를 제거하여 오염 가능성을 더욱 줄일 수 있습니다. 또한 웨이퍼 위치 인덱서 (Wafer Position Indexer) 를 추가하여 웨이퍼와 캐리어가 항상 일관되고 알려진 위치에 적절하게 정렬되도록 할 수 있습니다. 410 은 최대 200 개 의 "웨이퍼 '를 운반 할 수 있으며 최대 120m/min 의 속도로 이동할 수 있어 처리량 을 향상 시킨다. 고품질, 특수 설계 모터 (motor) 및 서보 드라이브 (servo drive) 를 통해 효율적이고 안정적인 자동화 장비를 제공합니다. FANUC 410 은 서비스 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며, 대규모 운영 환경을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 마지막으로, 안전 기능에는 긴급 차단 및 ESD 보호가 포함되며, 410은 안전하고 안정적인 웨이퍼 생산 옵션입니다.