판매용 중고 EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100 #9256777

EQUIPPE TECHNOLOGIES EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100 Wafer Handler는 웨이퍼 처리의 정확성, 순도 및 속도를 향상시키기 위해 설계된 완전 자동화 장비입니다. 이 장치는 싱글 암 로봇을 사용하여 직경이 최대 8.4 "인 기판을 정확하게 처리합니다. 자유도는 3 도이며, 위치 지정 및 제어 정확도가 최대입니다. ESC-100에는 0.12mm (최대 6.00mm) 의 기판 두께를 처리 할 수있는 특수 센서, 컨트롤러 보드 및 모터가 장착되어 있습니다. "로봇 암 (robot arm) '은 웨이퍼를 손상시키지 않기 위해 기판 두께와 관련하여 그립력을 자동으로 조정하는 메커니즘을 내장하고 있다. 로봇 암은 최대 2m/s의 속도에 도달 할 수 있으며, 힘 정확도는 ± 0.5N 이내입니다. EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100에는 웨이퍼 처리 프로세스를 개선하기 위해 설계된 여러 기능이 있습니다. 기판 속도, 힘, 가속과 같은 이전에 프로그래밍된 시스템 (예: 기판 속도, 힘, 가속) 의 지능형 정적 마찰 제어 시스템을 통해 최적의 성능 및 향상된 수율을 제공합니다. 이 장치의 높은 정확도, 반복성 (repeatability) 을 통해 광범위한 정밀 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. ESC-100 은 자동화된 그리드 (grid) 와 금속탐지기를 탑재하여 웨이퍼의 이물질을 탐지할 수 있다. 이렇게 하면 도구가 웨이퍼의 잠재적 손상을 방지하고, 처리 시간을 줄일 수 있습니다. 또한, 비전 기반 백사이드 검사 기능을 통해 로봇은 처리 중 기판의 뒷면을 검사 할 수 있습니다. EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100은 모듈식 설계를 제공하며 다양한 통합 옵션을 제공합니다. 각 구성 요소 모듈은 고객 요구 사항에 맞게 손쉽게 수정할 수 있습니다. 이 자산은 또한 다양한 응용 프로그램에 로봇을 적응시키는 데 사용할 수있는 광범위한 엔드 이펙터 (end effector) 를 제공합니다. 직관적 인 프로그래밍은 프로그래밍 소프트웨어를 통해서도 제공됩니다. 전반적으로 EQUIPPE TECHNOLOGIES ESC-100 Wafer Handler는 웨이퍼 처리를 위해 효율적이고 안정적인 모델입니다. 매우 정확하고 반복 가능하며, 최고 수준의 효율성과 수익률을 제공합니다. 이 로봇은 또한 다양한 통합 옵션 (integration options) 을 제공하여 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 지능형 자동화 및 고급 기능을 갖춘 EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100 은 모든 Wafer 처리 환경에 적합한 솔루션입니다.