판매용 중고 ENTEGRIS Ultrapak #55219

ENTEGRIS Ultrapak은 다양한 반도체 생산 및 테스트 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 모든 표준 웨이퍼 크기와의 완벽한 호환성을 제공하며 카세트간 (cassette-to-cassette) 및 로봇간 (robot-to-robot) 전송을 위한 다양한 애플리케이션을 지원합니다. 울트라팩 (Ultrapak) 은 특정 프로세스 및 제품 요구 사항을 충족하도록 조정 및 구성할 수 있는 고유한 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 웨이퍼는 카세트에 적재되어 ENTEGRIS Ultrapak 유닛에 배치 된 후, 로봇 암은 카세트를 다음 처리 단계로 운반합니다. 울트라 팩 (Ultrapak) 의 이중 설계는 신뢰성 및 유지 보수 측면에서 장점을 제공하며, 장비 장애 및 오염 위험을 최소화합니다. ENTEGRIS Ultrapak 은 기존 프로세스 장비 (Process Equipment) 뿐만 아니라 새로운 방식으로 사용할 수 있으며 다양한 자동화 시스템 (Automation System) 에서 작동하도록 구성되어 있습니다. 내장 된 다중 위치 진공 시스템 (multi-positional vacuum system) 은 취급력이 낮고 진동이 최소화되어 입자가 적고 손상되지 않은 정밀한 고속 웨이퍼 전송을 제공합니다. 또한, 울트라 팩 (Ultrapak) 은 트랜스포터 (transporter) 와 서셉터 (susceptor) 를 포함한 듀얼 챔버 디자인으로 구성하여 다양한 웨이퍼 시장에서 배치 로딩 및 인덱싱을 가능하게 할 수 있습니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 핸들러 (handler) 의 어느 위치에든 웨이퍼를 배치 할 수 있으며, 단일 사이클 내에서 여러 웨이퍼를 신속하게 포지셔닝 할 수 있습니다. ENTEGRIS Ultrapak은 운영자 안전을 보장하고 오염을 최소화하는 최첨단 안전 기능으로 제작되었습니다. 공기 여과 "시스템 '은 오염 물질 과 입자 들 이 공정 에 도입 되는 것 을 방지 하기 위해 설계 되었으며, 그 방패 는 정비 혹은 청소 를 위해 쉽게 제거 된다. 또한, 고급 센서링 시스템은 적절한 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 및 포지셔닝 (positioning) 및 오류 감지 (fault detection) 및 와퍼의 잘못 정렬에 대한 빠른 응답을 보장합니다. Ultrapak은 Transfer Load Lock, Wafer Loading Jig 및 Wafer Positioner를 포함한 여러 프로세스별 구성 요소로 설계되었습니다. 전송 로드 잠금 (Transfer Load Lock) 은 전송이 안전하고 전송 중 오염 및 입자 생성 위험을 최소화합니다. 웨이퍼 로딩 지그 (Wafer Loading Jig) 는 웨이퍼를 제자리에 정확하게 배치하고 입자 생성을 줄이는 데 도움이 되는 독특한 단일 펄스 로딩 기능을 제공합니다. 마지막으로, 웨이퍼 포지셔너 (Wafer Positioner) 는 높은 정확도의 웨이퍼 배치를 제공하며 프로세스 전반에 걸쳐 균일한 웨이퍼 공간을 유지하는 데 도움이됩니다.