판매용 중고 ENTEGRIS KA198-80M #293590956

ENTEGRIS KA198-80M은 반도체 제작에서 패턴 및 이미징을위한 웨이퍼 핸들러입니다. 이 플랫폼은 photolithography 시스템에 사용하도록 설계된 통합 로봇 플랫폼입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 최대 4 개의 축으로 구성된 멀티 축 구성과 순차 로봇 방식으로 반도체 웨이퍼를 카세트에서 카세트로 이동하기위한 썰매 형 암 및 조작기를 제공합니다. KA198-80M의 반복 성능은 + 80jm/단일 축, 일반 전원 공급 장치 80 Amps 및 최대 3m/s의 정상 상태 속도를 갖습니다. 정리 시간 (setting time) 과 로우 프로파일 (low profile) 설계 (design) 를 줄여 주기를 단축하고 처리량을 높일 수 있습니다. 부식성 환경에 노출되는 것을 방지하는 혁신적인 밀봉 된 로봇 암 (robotic arm) 을 장착하여 최고 수준의 제어, 정밀 및 정확성을 보장합니다. 팔의 리프트 메커니즘은 한 번에 최대 8 인치 8 인치 웨이퍼를 전송하도록 설계되었습니다. ENTEGRIS KA198-80M은 기울어진 회전 메커니즘으로 만들어졌으며, 각 축에 전용 모터로 구성됩니다. 전동기는 최대 5kg의 정적 하중 (static load) 과 최대 6kg의 동적 하중 (dynamic load) 을 지원할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러의 최대 기울기 각도는 ± 4 도이며, 이는 웨이퍼의 IC 노출을 가능하게합니다. KA198-80M 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 작동 중에 충돌했을 때 최신 스티칭 알고리즘을 사용하여 빠른 복구를 수행합니다. 고급 제어 알고리즘 (Advanced Control Algorithm) 을 사용하면 장치가 Wafer의 정확한 위치를 신속하게 식별하고 재생성하여 작업을 신속하게 재개할 수 있습니다. 팔의 로우 프로파일 (low profile) 은 또한 방해를 제거하고 단단한 커브와 통로를 탐색하면서 클리어런스를 허용합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 다양한 반도체 제조 시스템 및 어플리케이션에 통합되도록 설계되었습니다. ENTEGRIS KA198-80M은 반도체 제조, 테스트, 특성 등 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 이 장치는 프로그래밍하기 쉽고, 통합하기 쉽고, 작동하기 쉽습니다. KA198 80M 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 필요에 맞게 신뢰할 수 있는 고급 웨이퍼 핸들러를 검색하는 시설에 유용한 툴이 될 것입니다.