판매용 중고 ENTEGRIS KA182-60MB-47C02 #9224930

ENTEGRIS KA182-60MB-47C02는 ENTEGRIS에서 제조 한 웨이퍼 핸들러입니다. 간단 하면서도 효과적 인 방법 으로 "웨이퍼 '를 일관성 있고 효율적 으로 처리 하도록 설계 되었다. KA182-60MB-47C02에는 전송 서스펜션 어셈블리, 웨이퍼 배송 장치, 프로세스 챔버 어셈블리 등의 구성 요소 세트가 있습니다. 수송 서스펜션 (Transport Suspension) 어셈블리는 핸들러 (Handler) 앞쪽에서 뒤쪽으로 부드럽고 안정적인 웨이퍼 전송을 제공합니다. 정밀 베어링 (precision bearing) 과 풀리 (pulley) 를 사용하여 정확한 움직임을 달성하는 스테퍼 모터에 의해 구동되는 궤도 구동 메커니즘으로 구성됩니다. 또한, 가위 리프트 (scissor lift) 는 웨이퍼에 교란을 일으키지 않고 수송 서스펜션 어셈블리를 부드럽게 올리고 낮추는 데 사용됩니다. 웨이퍼 (wafer) 배송기는 웨이퍼가 저장되어 프로세스 챔버 어셈블리로 전송되는 곳입니다. 웨이퍼 배송 장치 (wafer shipper) 는 진공 작동 척 시스템을 갖추고 있어 웨이퍼를 빠르고 쉽게 적재 및 언로드할 수 있습니다. 또한, 통합 비전 시스템 (Integrated Vision System) 은 웨이퍼의 정확한 로드 및 언로드를 위해 웨이퍼 배송기의 위치를 모니터링하고 조정하는 데 사용됩니다. 마지막으로, 프로세스 챔버 어셈블리는 웨이퍼를 처리 및 처리하는 곳입니다. 여기에는 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 포함되어 있으며, 제어 공정 분위기와 다양한 제어판 (control panel) 및 사용자 인터페이스 (user interface) 를 사용하여 웨이퍼의 적절한 처리를 보장합니다. 또한 ENTEGRIS 특허를받은 독점 건식/건조 처리 기술로 오염이없는 환경이 가능합니다. 프로세스 챔버 어셈블리에는 ENTEGRIS 독점 로봇 기술 (Proprietary Robotic Technology) 이 있으며, 이 기술은 제어되고 신뢰할 수있는 방식으로 웨이퍼를 정확하게 이동, 조작 및 처리하도록 설계되었습니다. 전반적으로 ENTEGRIS KA182-60MB-47C02는 전문적인 웨퍼 핸들러로, 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리를 위해 설계되었으며, 안정적이고 정확한 웨이퍼 처리가 필요한 운영에 적합합니다.