판매용 중고 ENTEGRIS HA-200 #9235611
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ENTEGRIS HA-200은 최첨단 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 청소 환경에서 웨이퍼를 전송, 테스트, 정렬할 수 있습니다. HA-200은 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 생산 라인에서 자동화를 위해 완벽한 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 최대 200g의 200mm, 300mm 및 450mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼는 최대 100mm/s까지 이동할 수 있으며, 총 전송 시간은 1 초 미만입니다. ENTEGRIS HA-200 (ENTEGRIS HA-200) 에는 큰 챔버 면적이 있으며, 이는 압력 손실을 줄이고 많은 웨이퍼를 한 번에 처리하기에 적합합니다. HA-200은 정확하고 안정적인 웨이퍼 전송을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 웨이퍼의 적절한 정렬 및 전송을 보장하는 프로그래밍 지원을 제공합니다. 조정 가능한 웨이퍼 척 (strobe lamp) 을 사용하면 웨이퍼 방향을 쉽게 조정하고 전송을 성공적으로 수행할 수 있습니다. ENTEGRIS HA-200은 진공 (vacuum) 과 로봇 암 (robot arm) 기술을 결합하여 청소실에서 웨이퍼를 전송하고 처리합니다. 최대 30 미크론의 포지셔닝 정확성과 최대 10 미크론의 반복 성을 제공합니다. 공구가 필요 없는 전환 (changeover) 기능과 통합된 전원 및 통신 기능을 통해 설치 및 귀환 시간을 단축할 수 있습니다. HA-200은 기존의 모든 생산 또는 제작 환경에 쉽게 적응할 수 있습니다. 이 장치는 GAMP5, FANUC 및 JETRO와 같은 다양한 컨트롤러 시스템을 지원합니다. 또한 다양한 wafer-handling 액세서리, wafer-stacking 장치 및 wafer 정렬 기능과 같은 다양한 옵션이 포함되어 있습니다. ENTEGRIS HA-200은 열악한 생산 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 가장 까다로운 반도체 생산 환경에서 안정성을 위해 스테인리스 스틸 바디 (Stainless-Steel Body), 은밀하게 밀봉 된 공기 시스템 및 저진동 구조가 특징입니다. HA-200 은 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 를 자동으로 처리하고 분류할 수 있도록 안정적이고 경제적인 솔루션을 찾는 고객에게 이상적인 솔루션입니다. ENTEGRIS HA-200은 웨이퍼 처리에서 정확성, 안정성 및 정확성을 제공합니다. 안정적이고 효율적인 wafer-handling 시스템이 필요한 모든 운영 제품군을 위한 필수 솔루션입니다.
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