판매용 중고 ENTEGRIS / FLUOROWARE A182-50MBHLZ #54838
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ID: 54838
웨이퍼 크기: 6"
Teflon cassettes with a front handle
Designed to be used for 6" wafers
These can be modified by cutting off the handle to become PN A182-50MB cassettes
Many available.
ENTEGRIS/FLUOROWARE A182-50MBHLZ는 다양한 작업 환경을 위해 설계된 고성능 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 직경 300 mm (12 인치) 의 웨이퍼에 대한 자동 정렬, 정렬, 회전 및 전송을 위해 향상된, 견고하고 안전한 제어 장비를 갖추고 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 정교한 통합 제어 시스템을 사용하여 웨이퍼 처리 시 최고의 유연성과 정확성을 제공합니다. 컨트롤러는 장치 작동, 구성 및 진단을 허용하는 직관적인 Windows 기반 ENTEGRIS 소프트웨어를 실행합니다. 운영자는 압력, 속도, 이동, 포트 선택 등 다양한 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. "머신 '의 설계 는 안정성 을 유지 하고 사용 하기 쉬우면서도, 수동" 입력' 없이 높은 수준 의 정확도 를 제공 한다. 이 도구 소프트웨어를 사용하면 웨이퍼 전송, 정렬, 픽업 속도, 이동을 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. ENTEGRIS A182-50MBHLZ는 강력한 100W 모터 및 인코더 어셈블리를 사용하여 2 캐리지 카세트 로봇을 구동하여 안전하고 안정적인 방식으로 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 이동을 제공합니다. 이 "로봇 '은 조정 가능 한" 회전 목마' 와 자동화 된 "센서 '자산 을 갖추고 있으며, 수백 개 의" 웨이퍼 포켓' 을 빠르고 정확 하게 골라 놓을 수 있다. 통합 컨트롤러 (Integrated Controller) 는 최고 속도 제어를 가능하게 하며, 로봇 암의 순간적인 변환 및 회전 동작을 제공합니다. FLUOROWARE A182-50MBHLZ에 포함 된 고급 로봇은 수동 개입없이 모든 웨이퍼 폼 팩터를 처리하도록 설계되었습니다. 여기에는 최대 12 인치 (300mm) 웨이퍼 직경과 최대 5mm 두께 변형이 포함됩니다. 또한 고급 웨이퍼 감지 및 바코드, 광학 인식 등의 정렬 기능도 제공합니다. 온보드 센서와 프로그래밍 로직은 최대 수백 개의 웨이퍼를 빠르고, 안전하며, 정확하게 처리합니다. A182-50MBHLZ는 또한 열 제어, 보호 차폐 인클로저, 암 리셋 기능, 페데스탈 정렬 및 자동 위치 복원이 풍부합니다. 완벽하게 프로그래밍 가능한 처리 매개변수를 통해 연산자는 속도, 항해, 포트 선택 등 다양한 기능을 설정할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 검사 또는 테스트 시스템과 같은 다른 정교한 장비와 인터페이스 할 수도 있습니다. 전반적으로 ENTEGRIS/FLUOROWARE A182-50MBHLZ는 모든 작업 환경에서 최적의 성능 및 안정성을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 자재 처리 (Material Handling) 를 위한 최고의 자동화 솔루션으로서, 생산 품질을 향상시키고, 적절한 결과를 제공할 수 있도록 노력하는 첨단 업종과 기업에 의해 활용될 수 있습니다.
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