판매용 중고 ENTEGRIS F300 #293695400

ENTEGRIS F300 (ENTEGRIS F300) 은 안정적인 칩 제작, 포장 및 테스트 작업을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 고급 로봇 공학 (Robotics) 과 모션 제어 기술 (Motion Control Technology) 을 사용하여 공구 챔버 간에 빠르고 정확한 웨이퍼 전송을 지원합니다. 직경 200mm (wafer) 까지 안정적이고 고속 이동이 가능한 전용 드라이브 장치를 사용합니다. ENTEGRIS F 300 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 최대 200 개의 웨이퍼를 동시에 수용하여 높은 처리 처리량을 제공합니다. F300은 반복 가능성이 가장 높은 플러스 또는 마이너스 10 미크론의 정밀 로봇 처리 정확도를 제공합니다. F 300은 또한 ENTEGRIS 반응성 청소 기능을 사용하여 웨이퍼 전송 중 입자 수 오염 및 오염없는 처리를 줄입니다. 또한 빠른 스타트 업 (startup) 과 간편한 공구 액세스를 위한 인체 공학적 로봇 암 디자인을 제공합니다. ENTEGRIS F300은 유연한 기계로, 자동화된 웨이퍼 생산, 테스트 및 전송 작업을 지원합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 프로그래밍 된 웨이퍼 처리 명령 (wafer handling command) 과 기존 웨이퍼 구성 시스템과의 손쉬운 통합이 가능합니다. 개방형 아키텍처 설계를 통해 특정 사용자 요구 사항에 대한 사용자 정의를 쉽게 수행할 수 있습니다. ENTEGRIS F 300은 어댑터블 (Adaptable), 모듈식 기본 프레임으로 설계되었으며, 다른 도구와 프로세스도 손쉽게 재구성할 수 있습니다. F300은 또한 웨이퍼 전송 프로세스 동안 안전한 그리핑을위한 진공 클램핑 도구 (vacuum clamping tools) 와 웨이퍼 처리 오작동을위한 센서 인터럽트 회로 탐지 (sensor-interrupt circuit detection) 를 갖추고 있습니다. F 300 웨이퍼 핸들러는 과다 여행 안전 제한 (over-travel safety limit) 및 비상 중단 문을 포함한 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한 다양한 경보 및 자산 진단 기능을 제공하여 가능한 오류, 오작동, 누출, 깨진 웨이퍼 등에 대한 피드백을 제공합니다. 마지막으로, ENTEGRIS F300 에는 ENTEGRIS 의 포괄적인 서비스 패키지가 함께 제공되어 항상 최적의 성능을 보장합니다.