판매용 중고 ENTEGRIS F300 AutoPod #9174710

ENTEGRIS F300 Autopod 웨이퍼 핸들러 (Autopod wafer handler) 는 다양한 반도체 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 처리 및 이동할 수 있도록 설계된 자동 장비입니다. 이 특별히 설계된 웨이퍼 핸들러는 고도의 ENTEGRIS F300 반도체 처리 시스템에 사용하도록 최적화되었습니다. F300 Autopod는 안전하고 안전한 폼 유닛 기술을 통해 매우 정확한 반복 가능한 동작을 제공합니다. 이 기계는 다양한 웨이퍼 유형 (200mm ~ 300mm) 을 관리할 수있는 지능형 (Intelligent) 컨트롤로 설계되었습니다. 또한 F300 (F300) 을 사용하면 정확한 폐쇄 루프 (closed-loop) 모터 컨트롤러의 도움으로 로봇의 속도와 가속을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 도구는 모든 품질의 기판 (광택, 절단, 패턴 또는 코팅) 을 처리 할 수 있으며 전체 또는 부분 200mm-300mm 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 또한 프로그래밍 가능한 웨이퍼 포지셔닝, 속도 조정, 기울기 방지 모듈 등 다양한 통합 기능을 제공합니다. 완전히 통합 된 디자인은 최첨단 챔버 컨베이언스 (Chamber Conveyance) 자산을 제공하여 추가 서브시스템 또는 기기가 필요하지 않고도 챔버 포지션 정확성과 로드 정확성을 관리할 수 있습니다. ENTEGRIS F300 Autopod는 사용자 편의를 위해 Sfoti (웨이퍼 식별 기술) 도 갖추고 있습니다. F300 Autopod의 다른 운전 기능은 뛰어난 안전입니다. 정교한 안전 시스템 (Safety Systems) 은 웨이퍼 핸들러가 정해진 속도와 가속 범위 내에서 작동하여 안정적이고 타협되지 않은 프로세스 성능을 제공합니다. 모든 작업을 기록하는 완벽한 데이터 로깅 (data logging) 모델로 안정성과 정확성을 모니터링합니다. ENTEGRIS F300 Autopod (Autopod) 는 관련 웨이퍼 처리 및 처리 시스템을 찾는 모든 반도체 제조 시설에 대해 중요하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 사용자 중심의 기능, 안전 시스템 (Safety System), 정밀 성능으로 업계에서 최고의 선택 중 하나입니다.