판매용 중고 DENSO RC7M-WLBA #9411594

DENSO RC7M-WLBA는 고급 반도체 제조 설비의 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 이 최첨단 웨퍼 핸들러는 200mm, 300mm 및 450mm 직경의 웨이퍼를 수송하도록 설계되었으며, 최대 웨이퍼 크기는 28.5mm, 최소 웨이퍼 크기는 3mm입니다. RC7M-WLBA는 온도 (temperature), 정렬자 (aligner), 진공 레벨 (vacuum level) 과 같은 광범위한 프로세스 매개변수에서 작동하여 프로세스 제어를 완료할 수 있습니다. DENSO RC7M-WLBA는 설치 및 재구성에 유연성을 제공하는 모듈식 개념으로 설계되었습니다. 구조물은 베이스 (Base), 프레임 (Frame) 및 프로세스 제어를 강화하는 여러 공구로 구성됩니다. 모듈러 (modular) 개념의 일부로, 베이스는 웨이퍼 로드 및 언로드를위한 카세트 또는 포드를 허용하는 로드 포트로 구성됩니다. 프레임에는 정렬기 (aligner), 카세트 (cassette), 진공 시스템 (vacuum system) 및 처리할 웨이퍼 크기 범위를 지원하는 웨이퍼 처리 컴포넌트를 포함한 공구 처리 모듈이 있습니다. RC7M-WLBA에는 독립 전원 공급 장치와 통합 로봇 제어 장비가 있습니다. 로봇 제어 시스템은 핸들러 및 서브시스템의 작동, 이동, 모니터링을 담당합니다. 또한, 통합 로봇 제어 장치 (Integrated Robot Control Unit) 는 기능 기반 프로그래밍을 가능하게 하며 빠른 응답 시간을 제공하여 처리량을 향상시킵니다. 또한 DENSO RC7M-WLBA에는 릴 투 릴 작업, 카세트 교환 및 기타 도구 작업을 모니터링하는 SELF 모니터링 시스템이 있습니다. 이 자산이 수집한 모든 정보는 메모리에 저장됩니다. 즉, 데이터를 신속하게 전송하고 시스템 안정성을 높일 수 있습니다. 표준 구성의 일부로, RC7M-WLBA에는 핸들러와 해당 환경 간의 충돌을 방지하는 근접 센서가 포함됩니다. DENSO RC7M-WLBA 웨이퍼 핸들러는 에피 택시, 산화, 화학 증기 증착, 스퍼터링, 리소그래피, 열 처리 및 웨이퍼 처리에 사용하도록 설계되었습니다. 또한, 이온 임플란터, HB-LED 증착 시스템, 건식 에치, 도량형 장비 등과 같은 기존 프로세스 도구에 통합 될 수 있습니다. 이 고급 웨이퍼 핸들러는 효율성, 안정성 및 안전을 보장하도록 설계되었습니다. 간편한 설치, 신속한 설치, 유지 보수, 시스템 가동 시간 증가, 다운타임 단축 등의 이점을 누릴 수 있습니다. 또한, 모듈 식 개념은 업그레이드를 허용하며, 이는 시간이 지남에 따라 그 가치를 유지하는 데 도움이됩니다. 결론적으로 RC7M-WLBA는 고급 반도체 제작 시설에 적합한 솔루션입니다.