판매용 중고 CYBEQ 6100 #165295
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ID: 165295
빈티지: 2002
Vacuum Wafer Robot 6100V ASM VAC 300
Part Number: 0125-5015
Controller:
Model Number: 6100 Controller
Controller is missing the display board
CE Marked: Yes
Teaching Pendant:
Model Number: TT1R2-1
CE Marked: Yes
2002 vintage.
CYBEQ 6100은 다중 단계 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 안전하고 효율적인 방식으로 일련의 시스템에서 크리스탈 (crystal) 및 세라믹 (ceramic) 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 6100에는 진공 장비와 로드/언로드 모듈이 함께 제공됩니다. 직경 200mm ~ 300mm, 두께 최대 6mm의 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 로드/언로드 모듈에는 웨이퍼 엘리베이터 (Wafer Elevator) 가 포함되어 있는데, 이 엘리베이터는 진공 회전 목마 (Carousel) 를 빠르고 안전하게 설치/분리하는 데 사용됩니다. 회전 목마는 최대 12 개의 웨이퍼를 보유하고 있으며, 긁힘을 제거하고 표면에서 손상되도록 설계되었습니다. CYBEQ 6100에는 정렬, 크기, 표면 처리 결함을위한 웨이퍼를 검사하는 비전 (vision) 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치는 수동 검사 (manual inspection) 가 필요 없으며 제품의 품질과 성능을 보장하는 데 도움이 됩니다. 6100은 격리 상자 형태의 독특한 기능을 가지고 있습니다. 이 격리 상자는 제조 공정 전반에 걸쳐 웨이퍼를 밀봉하고 통풍하는 데 도움이됩니다. 이렇게 하면 깨끗함이 향상되고 제품 무결성이 유지됩니다. 기계 자체는 내구성 있는 강철 프레임, 고급 RF 모듈 (Advanced RF Module) 및 작동 중 최적의 성능을 보장하는 전원 공급 장치로 구성됩니다. 이 프레임은 제품의 무결성을 보장하기 위해 극심한 온도, 압력 변화 (pressure variations) 를 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 또한 CYBEQ 6100 에는 파퍼 (wafer) 운송용 장애 안전 모터 제어, 통합 경보 장치, 응급 작업 을 위한 수동 재지정 스위치 등 여러 가지 안전 기능 이 들어 있습니다. 간편한 설치, 운영 및 유지 관리를 위한 사용자 친화적 인터페이스가 제공됩니다. 6100 은 제품의 무결성, 안전성, 성능을 극대화하도록 설계된 안정적이고 효율적인 wafer handler 입니다. 고급 진공 도구 (advanced vacuum tool) 와 로드/언로드 모듈은 세라믹, 크리스탈, 기타 민감한 재료와 같은 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 통합 비전 자산은 또한 제품의 품질과 성능을 보장하는 데 도움이됩니다. 또한, 내구성과 안전 (Safety) 기능을 통해 모든 제조 환경에 이상적인 선택이 됩니다.
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