판매용 중고 CSM Calotest #9115220

CSM Calotest 웨이퍼 핸들러는 반도체 제작에서 생산 중 반도체 웨이퍼를 이동, 정렬 및 제어하는 데 사용됩니다. 그 들 은 "웨이퍼 '를 정확 하게 정렬 하고 조작 하기 위하여" 각도' 조종 장비 가 지지 하는 자동 "웨이퍼 포지셔너 '로 구성 되어 있다. 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 표시, 정렬, 중심 설정, 방향 지정, 패턴 지정 및 처리에 필요한 모든 기능을 수행합니다. 처리기에는 웨이퍼 트레이, 트레이 센서, 검출기 및 매칭 액추에이터가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 트레이는 표준 크기의 실리콘 웨이퍼 (일반적으로 직경 200 ~ 300mm) 를 긁거나 손상시키지 않고 운반하도록 설계되었습니다. 트레이는 정전기를 줄이기 위해 실리콘 코팅 필름 (silicone coated film) 으로 코팅되어 정전기 방전으로부터 웨이퍼를 보호합니다. 그러면 연결된 "센서 '가 용지함 에" 웨이퍼' 가 있는 것 을 감지 하여 각도 조절 장치 에 신호 를 보낸다. 각도 제어 장치 (angular control unit) 는 웨이퍼의 속도, 힘 및 동작을 정밀 수준으로 조절합니다. 컨트롤러는 용지함 센서에서 입력 신호를 수신하고 신호 (signal) 를 프로그래밍된 모션 컨트롤에 일치시키고 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 배치합니다. 이렇게 하여, "컨트롤러 '는 표면 을 손상 시키지 않고 움직 이면서" 웨이퍼' 를 돌린다. "탐지기 '는" 와퍼 트레이' 바닥 에 부착 된 발광 "다이오드 '와 광센서 의 배열 이다. 위치 지정 중 용지함으로부터의 웨이퍼 (Wafer) 거리를 측정하고 각도 제어기 (Angular Control Machine) 로 신호를 다시 전송하여 공구가 속도와 힘을 적절히 조정할 수 있습니다. 웨이퍼 매치 액츄에이터는 웨이퍼 트레이 (wafer tray) 외부에 있으며 웨이퍼를 미리 정해진 패턴으로 회전하도록 설계되었습니다. 액추에이터는 x, y 및 z 평면에서 웨이퍼를 이동하여 원하는 처리 패턴과 연관시킵니다. 캘로테스트 웨이퍼 핸들러 (Calotest wafer handler) 는 광학 검사 시스템 및 패턴 측정 시스템 (pattern measurement system) 과 같은 다른 매우 깨끗한 자동 시스템과 결합하여 최고 수준의 정확도와 생산 수율을 보장하기 위해 사용됩니다. 다용도 크기 옵션과 다양한 웨이퍼 (wafer) 재료와의 호환성을 결합한 "정밀 모션 제어 (precision motion control) '는 반도체 제작을 위한 신뢰할 수 있는 비용 효율적인 솔루션입니다.