판매용 중고 COMET R2D #9397149

COMET R2D 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 산업 반도체 제작 응용 프로그램을 위해 설계된 자동화된 전체 기능의 단일 웨이퍼 처리 장비입니다. 운영, 안전 및 신뢰성에 이상적인 솔루션입니다. 동작 제어 (motion control) 와 웨이퍼 처리 도구 (wafer-handling tool) 를 갖춘 이중 축 로봇 암을 사용하므로 시스템은 안정성이 높고 사용이 쉽습니다. R2D는 최대 200mm 웨이퍼 처리가 가능하며, 전송, 확인, 에칭, 청소, 마스킹 등 다양한 Wafer 처리 옵션 및 프로세스 도구를 제공합니다. 웨이퍼 핸들러에는 강력한 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있어 높은 처리량 생산에 이상적인 정확한 웨이퍼 모션이 가능합니다. 웨이퍼 중심에서 최대 50mm 떨어진 오프 센터 (off-center) 좌표 범위 내에서 와퍼를 빠르고 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한, 암은 정확한 도달을위한 자유형 이동을 제공하고 웨이퍼 처리에 대한 고도의 정확성을 유지하는 고정밀 센서 장치 (high-precision sensor unit) 를 갖추고 있습니다. COMET R2D에는 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 동작 속도를 지원하는 모터 제어 옵션도 포함되어 있습니다. 웨이퍼 처리 및 프로세스 도구 측면에서, 머신에는 습식, 스핀 코터, 포토 esist 및 드라이 에칭을 포함한 여러 웨이퍼 처리 모듈이 장착되어 있으며, 클린 룸에서 포토 리토 그래피까지 전체 웨이퍼 프로세스 단계가 가능합니다. 에칭. 또한, 이 도구는 여러 개의 경보 및 비상 정지 (Emergency Stop) 기능을 갖춘 완전 통합 안전 자산 (Safety Asset) 을 통합하여 장치의 안전한 작동을 보장합니다. 또한, 이 모델은 편리하고 안정적인 유지 관리를 위해 설계되었으며, 교체 및 교정을 용이하게 할 수 있는 내장 모듈을 갖추고 있습니다. 전반적으로 R2D 웨이퍼 핸들러 (R2D Wafer Handler) 는 고정밀도 및 고출력 반도체 제조가 필요한 산업 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 장비는 안정적이고, 사용자 친화적이며, 효율적인 솔루션을 제공하여 안전하고 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다.