판매용 중고 CHAD WLM 6200 #9278987
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CHAD WLM 6200은 반도체 제조 및 실험실 응용을 위해 설계된 고성능, 비용 효율적인 웨이퍼 핸들러입니다. 웨이퍼 핸들러는 최대 6 개의 200mm 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 처리 할 수 있습니다. 정확한 웨이퍼 정렬 및 정확한 웨이퍼 감지를 위해 고급 SensArray 기술이 장착되어 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 신규 또는 기존 시스템에 쉽게 통합될 수 있으며, 고급 통신 프로토콜을 사용하여 외부 자동화 장비와 데이터 교환을 수행할 수 있습니다. WLM 6200 웨이퍼 핸들러는 고급 자동 처리 프로세스와 사용자 구성 가능한 설정을 통해 탁월한 제어 및 유연성을 제공합니다. 통합 소프트웨어를 통해 운영자는 특정 웨이퍼 (wafer) 를 선택하고 웨이퍼 (wafer) 이동을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 소프트웨어 기능에는 내장 웨이퍼 관련 매개변수 설정 장비와 안전한 PIN 보호 데이터 액세스 시스템이 포함됩니다. 따라서 운영을 최적화하고 다운타임 및 장치 자원 활용도를 최소화할 수 있습니다. CHAD WLM 6200의 고급 프로세스 제어는 처리 및 로드 프로세스 전반에 걸쳐 반복성과 일관성을 보장합니다. 이 기계에는 고급 웨이퍼 식별 머신 (wafer identification machine) 과 웨이퍼 처리 정확도가 모든 방향으로 ± 10 µm가 장착되어 있습니다. 또한 강력한 온보드 센서와 컨트롤러로 설계되었으며, 이 컨트롤러는 프로세스 수율을 높일 수 있도록 실시간 웨이퍼 피드백 (wafer feedback) 정보를 제공합니다. WLM 6200은 웨이퍼 처리 프로세스를 모니터링하기 때문에 다양한 기능 단계를 거칩니다. 이 기계는 웨이퍼 유형 (wafer type), ID 번호 (ID number) 및 처리 타이밍 (handling timing) 을 모니터링하고 다양한 프로세스 매개변수에 대한 감사 추적을 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스 효율성이 향상되고 오류가 발생하지 않습니다. 이 기계는 또한 웨이퍼 프로세스 이벤트의 완전한 추적 가능성을 위해 상세한 추적 가능성 기록을 유지합니다. CHAD WLM 6200은 다양한 실험실 및 반도체 생산 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 이러한 프로세스의 정확성, 반복성, 신뢰성 등은 다양한 Wafer 처리 요구 사항에 이상적인 선택이 됩니다. 또한 "웨이퍼 '손잡이 는 사용 하기 쉽고, 쉽고 신속 하게 유지 관리 하고 작동 할 수 있다.
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