판매용 중고 BROOKS WTM-511 #132336

브룩스 (BROOKS) WTM-511 반도체 웨이퍼 핸들러 (Semiconductor Wafer Handler) 는 마이크로 일렉트로닉스 제조 산업에서 웨이퍼 파손을 줄이면서 생산성과 처리량을 높이기 위해 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 전송 메커니즘입니다. WTM-511은 모터 구동, 로우 프로파일 장비로, 다양한 온도, 습도, 청결 수준 내에서 작동합니다. 여기에는 운영자와 제품을 보호하는 데 필요한 모든 안전 (Safety) 기능이 포함됩니다. 높은 처리율로 직경 150mm ~ 200mm 범위의 베어 (bare) 및 패시브 웨이퍼 (passivated wafer) 를 처리하도록 설계되었습니다. 핸들러에는 다이렉트 드라이브 모터, 로우 프로파일 클램프 드라이브 시스템, 웨이퍼 모션 컨트롤 캠, 고속 옵티컬 인터록, 듀얼 로봇 리프트 메커니즘 등 다양한 맞춤형 부품이 포함됩니다. 다이렉트 드라이브 모터 (Direct Drive Motor) 는 최대 1,000 rpm에 도달할 수 있으며 높은 정확도와 속도를 제공합니다. 로우 프로파일 클램프 분리 장치 (Low-Profile Clamp Release Unit) 는 장치의 높이를 줄이고 수직 이동이나 충돌로 인한 웨이퍼 파손을 방지합니다. 캠 구동 (cam-driven) 웨이퍼 동작 제어 머신은 핸들러를 매번 같은 지점에 정확하고 일관되게 배치하여 안정성을 높이고 웨이퍼 손상 위험을 줄입니다. 안전성을 높이기 위해 고속 광학 연동장치 (Optical Interlock) 는 핸들러 (Handler) 를 둘러싼 대기 상태를 모니터링하고, 필요한 요구 사항이 아닌 경우 핸들러 (Handler) 를 중지하는 조치를 취합니다. 이중로보틱스 리프트 (dual robotics lift) 메커니즘을 통해 운영자는 손상 위험 없이 안전하게 웨이퍼를 삽입하거나 제거할 수 있습니다. BROOKS WTM-511은 마이크로 일렉트로닉스 제조를위한 효율적이고 안정적인 도구입니다. 웨이퍼 파손을 줄이고 운영자를 보호하면서 처리량을 증가시킵니다. 다이렉트 드라이브 모터 (direct drive motor), 로우 프로파일 클램프 분리 도구 (low profile clamp release tool), 웨이퍼 모션 컨트롤 캠 (wafer motion control cam), 고속 광학 인터 록 (high-speed optical interlock) 및 듀얼 로봇 리프트 메커니즘은 반도체 공정의 생산성과 정확성을 높이려는 모든 사람에게 완벽한 선택 중 일부일뿐입니다.