판매용 중고 BROOKS WTM-511-2-FWS02-V1-CU #99633

BROOKS WTM-511-2-FWS02-V1-CU
ID: 99633
Robot.
BROOKS WTM-511-2-FWS02-V1-CU는 반도체 칩 제조 공정 중 웨이퍼를 정확하게 조작하도록 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 독립적 인 진공 장비와 프로세스 내 웨이퍼 추적 (wafer tracking), 컨테이너 로딩 (container loading) 및 정렬 (alignment) 을 위한 단일 제어 밸브를 갖춘 견고한 설계를 갖추고 있습니다. 다용도 카세트 (cassette-handling) 메커니즘이 장착되어 있어 다양한 소스에서 카세트를 빠르고 쉽게 적재하고 언로드할 수 있습니다. WTM-511-2-FWS02-V1-CU는 안정적인 마이크로 프로세서 제어 모터 및 드라이브 어셈블리로 구동됩니다. 모터 및 드라이브 시스템은 다양한 웨이퍼 직경을 수용 할 수 있습니다. 이렇게 하면 서로 다른 크기 와 "웨이퍼 '모양 을 동일 한 정확도 로 조작 할 수 있다. 온보드 고급 위치 인코더 (on board advanced positional encoder) 는 웨이퍼 위치를 정확하게 나타내며 웨이퍼 동작의 정확한 선형 변환을 제공합니다. 또한, 고급 캠 추적 메커니즘은 매우 균일 한 웨이퍼 이동을 보장하며, 웨이퍼 잘못 정렬을 제거하고 잠재적 생산 오류를 줄입니다. BROOKS WTM-511-2-FWS02-V1-CU는 소형 항아리에서 대형 탱크까지 다양한 프로세스 컨테이너를 처리 할 수 있습니다. 프로세스 컨테이너에서 완전한 진공 상태를 설정하고 유지하기 위해 VersaVacVac® 진공 장치 (vacuum unit) 와 통합되었습니다. VersaVacuum ® 진공기는 고온에서도 웨이퍼 처리를 위해 제어 환경을 만듭니다. 이 장치는 또한 웨이퍼 (wafer) 조작 중 잠재적 인 문제에 대해 인력을 감지하고 경고하는 광범위한 경보 도구를 갖추고 있습니다. 보조 GPIO를 통해 외부 모니터링 및 상태 보고를 수행할 수 있습니다. WTM-511-2-FWS02-V1-CU에는 대부분의 업계 표준 자동화 시스템과 호환되는 개방형 아키텍처 디지털 I/O 보드가 있습니다. 이 장치는 다양한 산업용 제어 네트워크에 쉽게 연결할 수 있으며, 이를 통해 원격 모니터링, 제어, 유지 보수가 가능합니다. BROOKS WTM-511-2-FWS02-V1-CU는 안정적이고 강력하며, 다양한 웨이퍼 크기, 구성 및 프로세스를 안전하고 정확하게 생산할 수 있도록 설계되었습니다. 다재다능한 설계를 통해 짧은 주기 (cycle) 에 복잡한 웨이퍼 (wafer) 디자인을 처리 및 처리하여 전반적인 생산 효율을 높일 수 있습니다.
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