판매용 중고 BROOKS VTR-5 #83742

제조사
BROOKS
모델
VTR-5
ID: 83742
Robots, Model 001-7600-07.
브룩스 VTR-5 웨이퍼 핸들러 (BROOKS VTR-5 wafer handler) 는 반도체 생산 또는 연구 실험실에 사용하도록 설계된 인상적인 장비입니다. 이 기계는 한 번에 8 개의 플랫 패널 컵 플레이트 (flat panel cup plate) 를 조작하여 장비 전체에서 200mm 직경의 개별 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 이동할 수 있도록 설계되었습니다. 컴퓨터는 대화식으로 사용하기 쉬운 터치스크린 사용자 인터페이스를 통해 제어합니다. 일련의 강력한 스테퍼 모터는 웨이퍼를 회전하고, 기울이고, 움직이는 데 필요한 기계적 힘을 제공합니다. 웨이퍼 (wafer) 는 모두 시스템에 로드되며, 생산 과정에서 사용자는 버튼을 눌러 올바른 컵 (cup) 또는 플레이트 (plate) 위치로 이동할 수 있습니다. 웨이퍼는 모두 신뢰할 수있는 스프링 로딩 (spring-loaded) 확장 홀더 암의 도움으로 이동 중에 안전하게 고정됩니다. 무기 는 운동 과 회전 과 관련 된 진동 과 "쇼크 '를 흡수 하도록 설계 되었다. VTR-5에는 독립적 인 온도 조절 냉각 장치가 있습니다. 따라서 "웨이퍼 '를 조작 할 때 최적의 온도를 보장할 수 있다. 또한 이 장치에는 시스템 정확도에 대한 주기적 확인 (periodic verification check) 을 수행할 수 있는 보정 기능이 내장되어 있습니다. BROOKS VTR-5는 안정적이고 고속이며 정확한 웨이퍼 처리기입니다. 이 도구는 분당 최대 25 개의 웨이퍼 (wafer) 로 작동하며, 조용하고 낮은 진동 작업을 통해 엄격한 클린 룸 프로토콜에서도 실행할 수 있습니다. 자산은 또한 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 구조 덕분에 최소한의 유지 보수가 필요하며, 매우 긴 부품 수명은 다운타임이 줄어들고 전반적인 효율성이 높아집니다. VTR-5 (VTR-5) 는 높은 처리량 생산 프로세스 또는 매우 안정적이고 정확한 결과가 필요한 연구 애플리케이션에 적합합니다. 직관적인 터치스크린 인터페이스 (TouchScreen Interface) 를 통해 모델은 매우 사용자 친화적이며, 강력한 구성과 긴 구성 요소 수명은 장기적인 안정성과 일관된 성능을 보장합니다.
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