판매용 중고 BROOKS VTR-5 #169514

BROOKS VTR-5는 반도체 제작 공정을 위해 지정된 단일 웨이퍼 로봇 진공 전송 및 핸들러 장비입니다. 최적의 웨이퍼 처리량을 위해 설계되었으며, 향상된 청결 함, 유연성, 신뢰성 및 추적성을 제공합니다. 사용자 정의 구성 요소 로드 및 언로드 없이 100mm, 200mm, 300mm 및 450mm 웨이퍼를 처리 및 모니터링할 수 있습니다. VTR-5 (VTR-5) 는 거의 모든 유형의 웨이퍼 및 안전하고 반복 가능한 전송 프로세스와 호환되는 진공 전송 헤드를 갖추고 있습니다. 또한 12 인치, 터치에 민감한 LCD 컨트롤 패널은 다양한 작동, 진단 및 유지 관리 정보를 제공합니다. 또한 자동 제거 (auto-purge) 및 자동 센터 (auto-center) 기능을 통해 전송 성능 및 프로세스 반복성을 향상시킬 수 있습니다. 이 기계에는 4 단계, 서보 제어, 공압 웨이퍼 그립, 분류 수준 생산 환경에 적합한 가스 타이트 챔버 (gas tight chamber) 가 장착 된 웨이퍼 엘리베이터가 제공됩니다. 자기 입자 기반 Design Interface는 웨이퍼가 잘못 처리되는 것을 방지하고 뛰어난 처리 성능을 보장합니다. 또한 모듈식 (Modular) 설계를 통해 손쉬운 수리 및 유지 보수 (Maintenance) 가 가능하며, 장치 내부 구성 요소에 신속하게 액세스할 수 있습니다. 또한 BROOKS VTR-5는 웨이퍼 당 4.6 초의 주기 시간 (cycle time) 을 통해 처리량과 청결 성능을 뛰어난 조합으로 제공하며, 실시간 RFID 추적 기능도 제공합니다. 도구에서 로드된 모든 웨이퍼를 실시간 모니터링할 수 있습니다. 또한 LPC 전송 기술 (Wafer Tracking and Traceability from Wafer Lot) 을 통해 최대 생산의 신뢰성을 확보할 수 있습니다. VTR-5 (VTR-5) 는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 반도체 장비로, 향상된 청결성과 추적 능력을 제공하며, 높은 처리량과 반복성을 갖춘 경쟁 주기 시간을 제공합니다. 직관적이고 그래픽 사용자 인터페이스와 결합된 단순하고 모듈식 (Simple/Modular) 설계는 품질 높은 프로덕션 라인과 뛰어난 처리 성능을 보장합니다.