판매용 중고 BROOKS VTR-5 #157592

BROOKS VTR-5는 정확하고, 정확하며, 신뢰할 수있는 재료 포지셔닝 및 전송을 제공하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 정확한 웨이퍼 포지셔닝, 전송, 로드/언로드 작업, 정확한 웨이퍼 전송을 위한 정확한 속도 및 가속, 웨이퍼 검사 및 차단, 카세트 로딩 및 언로드, 정확한 재료 전송 및 압력 제어, 보조 장비 제어 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. VTR-5는 완전하게 자동화된 Station-to-Station 서보 장비로, 웨이퍼 전송을 위해 정확하고 정확하며 안정적인 반복 기능을 제공합니다. 운영 애플리케이션에 대한 견고한 구성, 간단한 유지 관리 및 정확성을 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 서보 컨트롤러, 서보 앰프, 정밀 선형 베어링, 고해상도 인코더, 펄스 모터 및 5축 정밀 스테이지가 포함됩니다. 또한 오류 시 자동 경고 기능을 통해 실시간 모니터링 및 제어가 가능한 고급 장치 제어 (Advanced Unit Control) 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 브룩스 VTR-5 (BROOKS VTR-5) 는 오븐과 프로세싱 챔버 사이의 웨이퍼를 정확한 속도로 신속하게 전송하여 일관된 품질과 결과를 보장하도록 설계되었습니다. VTR-5는 또한 정확한 재료 포지셔닝 및 전송을 허용하는 웨이퍼 블로킹 머신 (wafer blocking machine) 을 갖추고 있습니다. 이것은 와퍼 (wafer) 표면과 정확하게 접촉하여 정확하고 정확한 위치에서 웨이퍼를 중지, 운송, 로드 및 언로드 할 수있는 기능을 제공함으로써 달성됩니다. 또한 BROOKS VTR-5 는 정교한 카세트 로딩 툴로, 스테이션에서 스테이션으로의 자산에서 카세트를 빠르고 정확하게 로드하고 언로드하여 전체 프로세스 시간을 단축할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델은 다른 장비와 쉽게 통합 될 수 있습니다. 또한 VTR-5 (VTR-5) 에는 다른 응용 프로그램의 정확한 속도 변경을 허용하는 정확한 속도 및 가속 기능이 포함되어 있어 무버 (mover) 웨이퍼를 정확하고 정확하게 처리할 수 있습니다. BROOKS VTR-5에는 물, 가스, 압력 소스와 같은 관련 장비를 정확하게 제어 할 수있는 보조 장비 제어 (Ancillary Equipment Control) 기능도 포함되어 있습니다. 이 장비에는 고급 시스템 제어 소프트웨어 (Advanced System Control Software) 가 포함되어 있어 오류에 대한 자동 경고 기능을 통해 실시간 모니터링 및 제어를 수행할 수 있습니다. 이 장치는 산업용으로 설계되었으며 다양한 웨이퍼 (wafer) 및 칩 (chip) 재질과 호환됩니다. VTR-5는 정확하고 정확한 재료 포지셔닝 및 운송을 제공하기 위해 설계된 산업용 웨이퍼 핸들러입니다. 정밀 속도, 가속, 정밀한 재료 수송 및 압력 제어와 결합된 견고한 구성과 간단한 유지 관리 기능이 있습니다. 정확한 속도와 가속을 통해 BROOKS VTR-5는 오븐, 처리 실 및 기타 장비 사이에 웨이퍼를 신속하게 전송하여 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 정교한 카세트 적재 기계, 웨이퍼 차단 도구 및 보조 장비 제어 (Ancillary Equipment Control) 기능이 결합하여 정확하고 안정적인 웨이퍼 전송 자산을 제공합니다.